[實用新型]一種有機電致發光二極管

有效

• 申請號: 201822145943.X
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN209016101U
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 歐陽攀
• 申請（專利權）人: 陜西坤同半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/52
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 李有財

一種有機電致發光二極管，由下而上依序包含:薄膜晶體管、第一透明氧化層設置在薄膜晶體管上、第一電極設置在第一透明氧化層上、第二透明氧化層設置在第一電極上；具有開口的像素定義層設置在第二透明氧化層上以及第二電極設置在第二透明氧化層上且在像素定義層之間的開口內。

技術領域

本實用新型是涉及一種光電半導體技術領域，特別是有關于有機電致發光二極管。

背景技術

有機電致發光二極管(OLED)具有材料選擇范圍寬、驅動電壓低、全部化主動發光、重量輕、工作溫度范圍寬和可制作在柔軟襯底上等特點、能夠滿足當今信息時代對顯示技術更高性能和更大信息容量的要求，成為目前科學界和產業界最熱門的課題之一。此外，由于OLED的高效率、低成本，使其在照明領域的應用前景也被看好。

提高有機電致發光二極管的性能從而增加有機電致發光產品在市場的競爭力，對于當前有機電致發光技術的發展是十分重要的。有機電致發光二極管具有一種類似三明治的結構，其上下分別是陰極和陽極，兩個電極之間夾著單層或是多層不同材料種類和不同結構的有機材料功能層，而有機電致發光二極管是一種載流子注入型發光器件，在陽極和陰極加上工作電壓后，空穴從陽極，電子從陰極分別注入到工作器件的有機材料層中，兩種載流子在有機發光材料中形成空穴-電子對發光，然后從電極的一側發出。

從研究中可以得知，提高載流子的注入效率能夠明顯的提高器件的發旋光性能。當有機發光材料固定時，對陽極及陰極材料的選擇提出不同要求，即陽極材料的功函數愈高愈好，陰極材料的功函數愈低愈好。選擇低功函數的金屬，特別是活潑金屬可以降低電子的注入勢壘，從而降低所需的工作電壓。

現有的I-OLED結構在陰極圖案化制程時，金屬陰極易污染。此外，低功函數的陰極金屬由于其活潑性更強，所以進行圖案化制程時，更容易被氧化等失效。從而使得OLED電子易于從陰極注入則要求陰極的功函數低。

實用新型內容

根據上述現有技術的缺陷，本實用新型主要的目的在于提供一種有機電致發光二極管，可以解決陰極在制備過程中，被污染的缺陷。

本實用新型的另一目的在于提供一種有機電致發光二極管制備方法，以解決在現有技術中，在陰極圖案化的過程中，顯影液對低功函數高活潑性陰極材料的損傷而造成污染的技術問題。

根據上述目的，本實用新型提供一種有機電致發光二極管，由下而上依序包含:薄膜晶體管、第一透明氧化層設置在薄膜晶體管上、第一電極設置在第一透明氧化層上、第二透明氧化層設置在第一電極上；具有開口的像素定義層設置在第二透明氧化層上以及第二電極設置在第二透明氧化層上且在像素定義層之間的開口內。

根據上述有機電致發光二極管，本實用新型還提供一種有機電致發光二極管的制備方法，其步驟包含:提供基底結構，由下而上依序包含有薄膜晶體管、第一透明氧化層、第一電極、第二透明氧化層；像素定義層在形成基底結構上；執行半導體微影制程以移除部份的像素定義層，使得在像素定義層之間形成第一開口，第一開口暴露出基底結構的部份表面；形成具有第二開口的光阻層在像素定義層上，第二開口與第一開口暴露出基底結構的部份表面；形成第二電極在光阻層的表面、光阻層與像素定義層的側壁及基底結構所暴露出的部份表面；以及移除在光阻層上的第二電極、光阻層及光阻層與像素定義層的側壁上的第二電極，以保留在基底結構上的像素定義層及在像素定義層之間的第一開口內的第二電極。

本實用新型還提供一種有機電致發光二極管的制備方法，其步驟包含:提供基底結構，所述基底結構由下而上依序包含有薄膜晶體管、第一透明氧化層、第一電極、第二透明氧化層；形成第二電極在基底結構上；形成光阻層在第二電極上；執行半導體微影制程，以移除部份的光阻層及部份第二電極并暴露出基底結構的部份表面；以及移除光阻層，以保留第二電極在基底結構的部份表面。

根據上述制備方法，可以解決在現有技術中，在陰極圖案化的過程中，顯影液對低功函數高活潑性陰極材料的損傷而造成污染的技術問題。