[實(shí)用新型]半導(dǎo)體設(shè)備的開腔裝置和半導(dǎo)體設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822144946.1
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號(hào): CN209374411U
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳兆超;邱勇;程實(shí)然;李娜;劉海洋;王鋮熠;胡冬冬;許開東
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇魯汶儀器有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京得信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11511
• 代理人: 袁偉東;阿蘇娜

1.一種半導(dǎo)體設(shè)備的開腔裝置，包括升降軸(1)和套設(shè)在所述升降軸(1)外側(cè)的軸固定座(6)，其特征在于，

所述軸固定座(6)安裝于真空腔體(15)的外側(cè)壁上，所述升降軸(1)在所述軸固定座(6)內(nèi)沿所述升降軸(1)的軸向方向滑動(dòng)，所述半導(dǎo)體設(shè)備的開腔裝置還包括載動(dòng)分位臂(7)、軸承(10)和驅(qū)動(dòng)元件(12)，所述升降軸(1)的下端連接所述驅(qū)動(dòng)元件(12)，所述載動(dòng)分位臂(7)套設(shè)在所述升降軸(1)的上端的外側(cè)，所述載動(dòng)分位臂(7)與所述升降軸(1)的上端之間設(shè)有所述軸承(10)，所述載動(dòng)分位臂(7)固定連接于腔蓋(16)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的開腔裝置，其特征在于，

所述軸固定座(6)包括用于套設(shè)所述升降軸(1)的第一軸向安裝孔、升降襯套(4)和襯套環(huán)蓋(3)，所述升降襯套(4)設(shè)置在所述第一軸向安裝孔兩端的內(nèi)壁上，所述襯套環(huán)蓋(3)設(shè)置在所述第一軸向安裝孔的兩端端部，用于封蓋所述第一軸向安裝孔，所述升降軸(1)的端部依次穿過所述升降襯套(4)和所述襯套環(huán)蓋(3)；

所述載動(dòng)分位臂(7)包括用于套設(shè)所述升降軸(1)的第二軸向安裝孔、旋轉(zhuǎn)襯套(9)和蓋板(11)，所述旋轉(zhuǎn)襯套(9)設(shè)置在所述第二軸向安裝孔端部的內(nèi)壁上，所述升降軸(1)的上端穿過所述旋轉(zhuǎn)襯套(9)，所述蓋板(11)設(shè)置在所述第二軸向安裝孔的端部，用于封蓋所述第二軸向安裝孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體設(shè)備的開腔裝置，其特征在于，

所述軸固定座(6)還包括密封圈(5)，所述襯套環(huán)蓋(3)的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有周向燕尾槽，所述密封圈(5)安裝在所述周向燕尾槽內(nèi)，且所述密封圈(5)的內(nèi)側(cè)壁貼合所述升降軸(1)的外側(cè)壁。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體設(shè)備的開腔裝置，其特征在于，

半導(dǎo)體設(shè)備的開腔裝置還包括上升傳感器(2-2)、下降傳感器(2-1)和旋轉(zhuǎn)傳感器(2-3)，所述軸固定座(6)的下端設(shè)有沿所述升降軸(1)的軸向方向延伸的安裝板(18)，所述下降傳感器(2-1)和所述上升傳感器(2-2)沿所述升降軸(1)的軸向方向由下向上設(shè)置在所述安裝板(18)上，所述下降傳感器(2-1)和所述上升傳感器(2-2)均朝向所述升降軸(1)，并且均與所述驅(qū)動(dòng)元件(12)信號(hào)控制連接，以實(shí)現(xiàn)信號(hào)互鎖；

所述旋轉(zhuǎn)傳感器(2-3)設(shè)置在所述軸固定座(6)的上端面上，并朝向所述載動(dòng)分位臂(7)，所述旋轉(zhuǎn)傳感器(2-3)與所述驅(qū)動(dòng)元件(12)信號(hào)控制連接，以實(shí)現(xiàn)信號(hào)互鎖。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體設(shè)備的開腔裝置，其特征在于，

所述升降軸(1)的上端側(cè)壁設(shè)有限位銷(8)，所述限位銷(8)垂直于所述升降軸(1)的軸向方向設(shè)置，所述腔蓋(16)內(nèi)設(shè)有弧形限位槽，通過所述限位銷(8)在所述弧形限位槽內(nèi)滑動(dòng)限制所述腔蓋(16)的旋轉(zhuǎn)角度。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體設(shè)備的開腔裝置，其特征在于，

所述第一軸向安裝孔的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有沿所述升降軸(1)的軸向方向延伸的軌槽，所述升降軸(1)的外側(cè)壁安裝有圓環(huán)滾套(13)和升降軸止轉(zhuǎn)銷(14)，所述升降軸止轉(zhuǎn)銷(14)垂直于所述升降軸(1)的軸向方向設(shè)置，所述圓環(huán)滾套(13)套設(shè)在所述升降軸止轉(zhuǎn)銷(14)的外側(cè)壁上，所述圓環(huán)滾套(13)在所述軌槽內(nèi)滾動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體設(shè)備的開腔裝置，其特征在于，

所述升降軸(1)的上端側(cè)壁還設(shè)有圓形凹槽，所述腔蓋(16)上還設(shè)有球頭柱塞(17)，當(dāng)所述腔蓋(16)旋轉(zhuǎn)至所需角度時(shí)，所述球頭柱塞(17)卡進(jìn)所述圓形凹槽內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的開腔裝置，其特征在于，

所述軸承(10)為止推滾珠軸承。