[實用新型]一種新型工藝氣管及其專用清洗裝置

有效

• 申請號: 201822144846.9
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN209613706U
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 胡超川;朱磊;張繼凡
• 申請（專利權）人: 安徽立光電子材料股份有限公司
• 主分類號: B08B9/032
• 分類號: B08B9/032;C23C14/35
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 顧進

本實用新型公開了一種新型工藝氣管及其專用清洗裝置，包括氣管本體，所述氣管本體的上端設有管口，所述氣管本體上設有氣栓，所述氣栓的管壁上開設有螺紋孔，所述氣栓由氣栓頭和氣栓螺桿組成，所述氣栓螺桿的桿體外表面設有外螺紋，其與螺紋孔的尺寸互相配合實現氣栓與氣管本體的咬合密封連接，所述氣栓螺桿和氣栓頭的中心軸線上開設有通氣孔，所述通氣孔直通氣管本體，清洗裝置包括清洗箱體。本新型工藝氣管能夠工藝氣體均勻得分布和發散，并且氣栓采用螺紋與氣管本體連接，便于拆卸與調整氣栓之間的距離，使濺射在玻璃表面的膜層更加均勻，以及后期改進優化的效果；清洗箱體內部的第一固定組件和第二固定組件能夠針對該工藝氣管進行專門清洗。

技術領域

本實用新型涉及工藝氣管生產技術領域，具體涉及一種新型工藝氣管及其專用清洗裝置。

背景技術

在玻璃基板的磁控濺射工藝中，需要在靶材附近依靠氣管提供工藝氣體Ar氬氣，氬氣在電場下電離產生正離子撞擊陰極靶材，達到濺射沉積效果。現有工藝技術中，此種氣管經過多次噴砂，開孔多存在大小不一，難以調整的問題，不能使氬氣均勻得分布，影響靶材濺射沉積效果，因此需要一種能夠使氬氣分布均勻的工藝氣管，與此同時，在工藝氣管使用一段時間后管道的內部以及氣孔處會有一些臟污的沉積，目前對其采用的人工的方式對氣管進行直沖，這種清洗方式傳統，費時費力，清洗后的水流到地上對環境造成了污染，且浪費水資源，不能夠對其進行二次利用，因此亟待本領域技術人員解決此問題。

發明內容

為解決上述問題，本實用新型公開了一種新型工藝氣管及其專用清洗裝置，其目的在于解決現有工藝技術中，工藝氣管經過多次噴砂，開孔多存在大小不一，難以調整的問題，不能使氬氣均勻得分布，影響靶材濺射沉積效果，因此需要一種能夠使氬氣分布均勻的工藝氣管，與此同時，在工藝氣管使用一段時間后管道的內部以及氣孔處會有一些臟污的沉積，目前對其采用的人工的方式對氣管進行直沖，這種清洗方式傳統，費時費力，清洗后的水流到地上對環境造成了污染，且浪費水資源，不能夠對其進行二次利用的問題。

為了達到以上目的，本實用新型提供如下技術方案：一種新型工藝氣管，包括氣管本體，所述氣管本體的上端設有用于連接存放氬氣箱的管口，所述氣管本體上設有氣栓，所述氣栓的管壁上開設有螺紋孔，所述氣栓由氣栓頭和氣栓螺桿組成，所述氣栓螺桿的桿體外表面設有外螺紋，其與螺紋孔的尺寸互相配合實現氣栓與氣管本體的咬合密封連接，所述氣栓螺桿和氣栓頭的中心軸線上開設有通氣孔，所述通氣孔直通氣管本體。

作為本實用新型的一種改進，所述管口的直徑小于氣管本體的直徑。

作為本實用新型的一種改進，所述氣栓頭和氣栓螺桿為一體式連接。

作為本實用新型的一種改進，所述氣栓頭設計為正六邊形。

作為本實用新型的一種改進，一種新型工藝氣管的專用清洗裝置，包括固定在機架上的清洗箱體，所述清洗箱體的內部設有固定工藝氣管的固定組件以及用于清洗工藝氣管的清洗組件，所述固定組件由第一固定組件和第二固定組件組成，所述第一固定組件和第二固定組件將工藝氣管進行傾斜固定，所述清洗組件包括水箱、輸水管以及高壓水泵，所述高壓水泵設置在輸水管的管體上，所述輸水管的出水口設有第一高壓水管和第二高壓水管，所述第一高壓水管和第二高壓水管均延伸至清洗箱體的內部并在其管口上設置高壓水箱，所述高壓水箱上設置高壓沖洗噴頭，所述清洗箱體的上端蓋設有箱蓋，所述清洗箱體的下端設置排水口，所述排水口連接凈水裝置，所述凈水裝置包括凈水箱體以及設置在凈水箱體內的活性炭過濾層和HEPA過濾網。

作為本實用新型的一種改進，所述第一固定組件和第二固定組件將工藝氣管進行傾斜固定后，工藝氣管的傾斜角度為45°。

作為本實用新型的一種改進，所述第一固定組件包括固定座和夾緊桿，所述夾緊桿的一端鉸接在固定座上，另一端與固定座可拆卸連接，所述夾緊桿的桿體上設置壓緊桿，所述壓緊桿上設置壓緊套，所述壓緊桿與夾緊桿之間通過固定桿連接，所述壓緊桿為半弧形圓面。