[實用新型]一種霍爾離子源維持極電壓可控裝置

有效

• 申請號: 201822144313.0
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN209267466U
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發明（設計）人: 曾文華;劉偉基;冀鳴;劉運鴻
• 申請（專利權）人: 中山市博頓光電科技有限公司
• 主分類號: H02M7/217
• 分類號: H02M7/217;H01J27/02
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 吳偉文

本實用新型涉及電壓控制技術領域，具體公開了一種霍爾離子源維持極電壓可控裝置，所述耦合變壓器的輸入端與電網輸出端電性連接，所述耦合變壓器的第一輸出端與所述升壓模塊的輸入端電性連接；所述升壓模塊的第一輸出端與所述濾波模塊的第一輸入端電性連接；所述整流模塊的輸出端與所述濾波模塊的第二輸入端電性連接；所述濾波模塊的輸出端與所述控制模塊的第二輸入端電性連接；所述控制模塊的輸出端與所述隔離輸出模塊的第二輸入端電性連接；所述隔離輸出模塊的輸出端與外部維持極電源端電連接。本實用新型解決了現有技術現有電源無法適應霍爾離子源維持極擊穿氣體后，電源輸出不穩定的缺陷，達到穩定霍爾離子源維持極電壓輸出的目的。

技術領域

本實用新型涉及電壓控制技術領域，更具體地說，涉及一種霍爾離子源維持極電壓可控裝置。

背景技術

霍爾離子源中和器向離子源引出的離子束發射電子，使束電流和束電荷得到中和的離子發射部件。離子源柵極引出的是帶正電的離子束。為了避免靶材或加工表面積累電荷，需要中和離子束電流；為了減少離子束中的空間電荷，以繼續引出離子，減小羽流擴散角，需要中和離子束電荷。為此，需要在放電室和柵極外邊設置中和器，向離子束發射與束電流等量的電子流。傳統中和器靠加熱燈絲產生自由電子。由于燈絲壽命短，一般只有不到10小時的連續工作間。而使用射頻技術驅動的離子源中和器壽命可以大大延長到上1000小時，是一種效率極高的離子源中和器系統。

維持極是霍爾離子源不可或缺一部分，用以維持霍爾離子源的運作。而霍爾離子源維持極屬于寬動態負載特性，需要兩組不同電壓的電源來保證穩定工作，兩組電源工作方式、輸出時序，現有的電源都無法滿足。因此需要設計一種電源來解決以下問題。現有單電源無法適應霍爾離子源維持極所需的負載瞬變供電需求，存在以下問題：氣體擊穿后負載呈低阻，高壓電源處于重載狀態此時轉換效率非常低，紋波電壓高，輸出不穩定，長時間持續工作電源容易損壞。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供了一種霍爾離子源維持極電壓可控裝置，以解決現有技術現有電源無法適應霍爾離子源維持極擊穿氣體后，電源輸出不穩定的缺陷。

為實現上述目的，本實用新型提供了如下技術方案：

一種霍爾離子源維持極電壓可控裝置，包括有耦合變壓器、升壓模塊、整流模塊、濾波模塊、控制模塊以及隔離輸出模塊；所述耦合變壓器的輸入端與電網輸出端電性連接，所述耦合變壓器的第一輸出端與所述升壓模塊的輸入端電性連接，用于將電網與升壓模塊隔離，所述耦合變壓器的第二輸出端與所述整流模塊的輸入端電性連接，用于將電網與整流模塊隔離；所述升壓模塊的第一輸出端與所述濾波模塊的第一輸入端電性連接，用于對電壓進行整流升壓處理，并將整流升壓后的電壓流經濾波模塊進行濾波處理；所述升壓模塊的第二輸出端與隔離輸出模塊的第一輸入端電性連接；所述升壓模塊的第三輸出端與控制模塊的第一輸入端電性連接，用于對電壓進行整流升壓處理，并將整流升壓后的電壓流經控制模塊進行電壓檢測與監控；所述整流模塊的輸出端與所述濾波模塊的第二輸入端電性連接，用于對電壓進行整流處理，并將整流后的電壓流經濾波模塊進行濾波處理； 所述濾波模塊的輸出端與所述控制模塊的第二輸入端電性連接，用于將濾波后的電壓流經控制模塊進行電壓檢測與監控；所述控制模塊的輸出端與所述隔離輸出模塊的第二輸入端電性連接，用于控制隔離輸出模塊的輸出電壓；所述隔離輸出模塊的輸出端與外部維持極電源端電連接，用于為外部維持極提供工作電壓并防止電流逆流損壞電路。