[實用新型]濕度傳感器及濕敏材料有效
| 申請號： | 201822140580.0 | 申請日： | 2018-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN209894748U | 公開（公告）日： | 2020-01-03 |
| 發明（設計）人： | 馮雪;司俊杰;閆宇;陳穎 | 申請（專利權）人： | 浙江清華柔性電子技術研究院;清華大學 |
| 主分類號： | G01N27/22 | 分類號： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 31264 上海波拓知識產權代理有限公司 | 代理人： | 李萌 |
| 地址： | 314000 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濕敏材料 濕度傳感器 第二電極 第一電極 襯底層 氣凝膠結構 填充 響應 | ||
1.一種濕度傳感器，其特征在于：包括襯底層、第一電極、第二電極及濕敏材料，所述第一電極及所述第二電極間隔地設置于所述襯底層上，所述濕敏材料填充于所述第一電極與所述第二電極之間，所述濕敏材料為氣凝膠結構的濕敏材料。
2.如權利要求1所述的濕度傳感器，其特征在于：所述第一電極及所述第二電極位于同一平面上，所述濕敏材料設置于所述第一電極與所述第二電極之間。
3.如權利要求2所述的濕度傳感器，其特征在于：所述第一電極及所述第二電極均為叉指電極，所述第一電極及所述第二電極上的叉指電極間隔且交錯設置，所述濕敏材料設置于所述第一電極與所述第二電極的叉指電極之間。
4.如權利要求1所述的濕度傳感器，其特征在于：所述第一電極與所述第二電極分層設置，從靠近所述襯底層的一側至遠離所述襯底層的一側，所述第一電極、所述濕敏材料及所述第二電極依次層疊設置。
5.如權利要求4所述的濕度傳感器，其特征在于：所述第二電極為叉指電極。
6.如權利要求5所述的濕度傳感器，其特征在于：所述第二電極上形成有多個與所述濕敏材料連通的孔洞。
7.如權利要求1所述的濕度傳感器，其特征在于：所述濕敏材料為氧化石墨烯氣凝膠、聚亞酰胺氣凝膠、二氧化硫氣凝膠或聚苯胺氣凝膠。
8.一種濕敏材料，其特征在于：所述濕敏材料具有氣凝膠結構。
9.如權利要求8所述的濕敏材料，其特征在于：所述濕敏材料的孔洞率大于99％。
10.如權利要求8所述的濕敏材料，其特征在于：所述濕敏材料為氧化石墨烯氣凝膠、聚亞酰胺氣凝膠、二氧化硫氣凝膠或聚苯胺氣凝膠。
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