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[實用新型]一種溶液配比和混合裝置有效

專利信息
申請號: 201822140221.5 申請日: 2018-12-19
公開(公告)號: CN209317615U 公開(公告)日: 2019-08-30
發明(設計)人: 盛少龍;沈思情;姚釘丁;張俊寶;陳猛 申請(專利權)人: 上海超硅半導體有限公司;重慶超硅半導體有限公司
主分類號: B01F15/04 分類號: B01F15/04;B01F3/08
代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201617 上海市松*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關鍵詞: 混合桶 研磨液 輸液機構 回流管 量液器 混合器 漿液輸送機構 本實用新型 液位檢測器 混合裝置 溶液配比 一端連接 量取 液器 管路連通 人為誤差 生產設備 生產效率 進液管 控制閥 誤操作 配比 向量 連通 失衡 配置
【權利要求書】:

1.一種溶液配比和混合裝置,其特征在于,包括:

混合器,包括混合桶(11)和第一回流管(12),所述混合桶(11)上設置有進液管(13)、第一輸液機構(15)和第一液位檢測器,所述第一回流管(12)一端連接于所述第一輸液機構(15),另一端連接于所述混合桶(11);

量液器,通過第一管路(22)連通于所述混合桶(11),且所述第一管路(22)上設置有第一控制閥(221);

漿液輸送機構,連通于所述量液器,被配置為向所述量液器輸送漿液。

2.根據權利要求1所述的溶液配比和混合裝置,其特征在于,所述量液器包括量筒(21)和與所述量筒(21)連通的第一液位顯示管(24),所述第一液位顯示管(24)上設置有第二液位檢測器。

3.根據權利要求1所述的溶液配比和混合裝置,其特征在于,所述混合桶(11)上設置有與所述混合桶(11)連通的第二液位顯示管(14),所述第二液位顯示管(14)上設置有所述第一液位檢測器。

4.根據權利要求1所述的溶液配比和混合裝置,其特征在于,所述漿液輸送機構包括漿液桶(31)和漿液管(32),所述漿液管(32)一端連接于所述量液器,另一端連接于所述漿液桶(31)。

5.根據權利要求4所述的溶液配比和混合裝置,其特征在于,所述漿液輸送機構還包括空氣壓縮機構,所述空氣壓縮機構連接于所述漿液桶(31),被配置為驅動所述漿液桶(31)內的漿液由所述漿液管(32)流動至所述量液器。

6.根據權利要求5所述的溶液配比和混合裝置,其特征在于,還包括壓縮空氣管(33),所述壓縮空氣管(33)一端連接于所述空氣壓縮機構,另一端連通于所述漿液桶(31)。

7.根據權利要求1所述的溶液配比和混合裝置,其特征在于,還包括儲存器,所述儲存器通過第一輸液管(5)連接于所述第一輸液機構(15),且所述第一輸液管(5)上設置有第二控制閥(51)。

8.根據權利要求7所述的溶液配比和混合裝置,其特征在于,所述儲存器包括儲存桶(41)和第二輸液管(45),所述儲存桶(41)底部設置有第二輸液機構(43),所述第二輸液管(45)連接于所述第二輸液機構(43)。

9.根據權利要求8所述的溶液配比和混合裝置,其特征在于,所述儲存器還包括第二回流管(42),所述第二回流管(42)一端連接于所述第二輸液機構(43),另一端連接于所述儲存桶(41),所述第二輸液管(45)連接于所述第二回流管(42)。

10.根據權利要求1所述的溶液配比和混合裝置,其特征在于,還包括控制器(8),所述控制器(8)分別連接于所述第一輸液機構(15)和第一控制閥(221)。

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