[實用新型]一種用于DBC半導體基板銅片的烘干裝置

有效

• 申請號: 201822133790.7
• 申請日: 2018-12-19
• 公開（公告）號: CN209926738U
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發明（設計）人: 周偉;劉瑞生;田茂標;徐勇;周開明;陳麗;胡秀英;劉云玲;張平;劉超莉;劉麗
• 申請（專利權）人: 成都萬士達瓷業有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B23/06
• 代理公司: 51211 成都天嘉專利事務所(普通合伙)
• 代理人: 蘇丹;鄭發志

1.一種用于DBC半導體基板銅片的烘干裝置，其特征在于包括：烘干機主體（1）、烘干盤底座（2）、烘干擋片（3）和脫水區（4），所述烘干機主體（1）的底部設置有烘干盤底座（2），所述烘干盤底座（2）上設置了多個脫水區（4），所述烘干擋片（3）設置在脫水區（4）上，所述烘干機主體的底部設置有加熱區（5）。

2.根據權利要求1所述一種用于DBC半導體基板銅片的烘干裝置，其特征在于：所述烘干機主體（1）為不銹鋼筒體。

3.根據權利要求1所述一種用于DBC半導體基板銅片的烘干裝置，其特征在于：所述烘干盤底座（2）上設置有烘干裝置。

4.根據權利要求1所述一種用于DBC半導體基板銅片的烘干裝置，其特征在于：所述烘干裝置為電熱絲。

5.根據權利要求1所述一種用于DBC半導體基板銅片的烘干裝置，其特征在于：所述烘干盤底座（2）上至少設置6個脫水區（4）。

6.根據權利要求1所述一種用于DBC半導體基板銅片的烘干裝置，其特征在于：所述脫水區（4）為扇形區域。

7.根據權利要求6所述一種用于DBC半導體基板銅片的烘干裝置，其特征在于：所述扇形區域圓心角度為30-60度。

8.根據權利要求1所述一種用于DBC半導體基板銅片的烘干裝置，其特征在于：所述每個脫水區（4）對應一個烘干擋片（3）。

9.根據權利要求1所述一種用于DBC半導體基板銅片的烘干裝置，其特征在于：所述加熱區（5）為電熱絲。