[實用新型]壓力傳感器

有效

• 申請號: 201822131039.3
• 申請日: 2018-12-18
• 公開（公告）號: CN209296205U
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: 大澤朝華;中村俊晃
• 申請（專利權）人: 日本電產東測有限公司
• 主分類號: G01L9/06
• 分類號: G01L9/06;G01L19/14;G01L19/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 韓香花;黃綸偉

本實用新型提供一種壓力傳感器。壓力傳感器具有：傳感器元件(5)；搭載有傳感器元件(5)并由金屬材料構成的傳感器支承部件(4)；貫通傳感器支承部件(4)的端子(6)；安裝于傳感器支承部件(4)并由非金屬材料構成的殼體(9)；以及配置于傳感器支承部件(4)與殼體(9)之間的粘接劑層(15)。粘接劑層(15)在一部分具有厚度比其他部分厚的厚部分(151)，在軸向上，傳感器支承部件(4)的一部分與厚部分(151)的殼體(9)側重合。

技術領域

本實用新型涉及壓力傳感器。

背景技術

以往，已知有檢測液體、氣體等流體的壓力的壓力傳感器。例如，在日本特開2016-45172號公報中記載的壓力傳感器具備半導體壓力檢測元件、基座、與基座相對配置的承接部件以及被夾持在基座與承接部件之間的隔板，這些被容納在罩內。在此，在基座與隔板之間形成有油被封入的受壓空間。半導體壓力檢測元件以配置于受壓空間內的狀態設置于基座。基座、承接部件以及隔板分別由金屬制成。罩由不銹鋼等金屬制成，通過激光焊接而與承接部件的外周部接合。在罩的內部填充有環氧系或聚氨酯系樹脂。

在日本特開2016-45172號公報中記載的壓力傳感器中，由于罩是由不銹鋼等金屬制成，因此很難實現輕量化。因此，可以考慮由樹脂等非金屬制成罩，但是在該文獻所記載的壓力傳感器中，在由非金屬制成罩的情況下，罩只通過由填充于罩內的樹脂產生的粘接力而固定于基座。在這樣的情況下，當該粘接力下降時，罩與罩內的樹脂以及元件等一同從基座脫落，有可能發生故障。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種能夠以較高的可靠性相互固定由金屬制成的傳感器支承部件與由非金屬制成的罩的壓力傳感器。

本申請的例示性的實用新型的壓力傳感器具有：

傳感器元件，所述傳感器元件輸出與流體的壓力對應的信號；

傳感器支承部件，所述傳感器支承部件具有一側的第1主面和與該第1主面相對的另一側的第2主面，在所述第1主面搭載有所述傳感器元件，該傳感器支承部件由金屬材料構成；

端子，所述端子與所述傳感器元件電連接，并從所述一側向所述另一側貫通了所述傳感器支承部件；

殼體，所述殼體覆蓋所述傳感器支承部件的所述第2主面，并且安裝于所述傳感器支承部件，該殼體由非金屬材料構成；以及

粘接劑層，所述粘接劑層配置于所述傳感器支承部件與所述殼體之間，

所述粘接劑層在一部分具有厚度比其他部分厚的厚部分，在軸向上，所述傳感器支承部件的一部分與所述厚部分的所述另一側重合。

在上述實施方式中，所述傳感器支承部件具有容納所述厚部分的一部分的凹部。

在上述實施方式中，所述凹部的寬度具有寬度向所述凹部的底部擴大的部分。

在上述實施方式中，所述殼體具有容納所述粘接劑層的一部分的凹部。

在上述實施方式中，所述殼體具有容納所述粘接劑層的一部分的凹部。

在上述實施方式中，所述殼體具有容納所述粘接劑層的一部分的凹部。

在上述實施方式中，所述厚部分沿所述傳感器支承部件或所述殼體的周向延伸。

在上述實施方式中，所述厚部分沿所述傳感器支承部件或所述殼體的周向延伸。

在上述實施方式中，所述厚部分沿所述傳感器支承部件或所述殼體的周向延伸。

在上述實施方式中，所述粘接劑層包含固化性樹脂。

在上述實施方式中，所述非金屬材料是樹脂材料。