[實(shí)用新型]一種硅芯清洗擦拭裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822129992.4
• 申請(qǐng)日: 2018-12-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209349115U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-09-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳國(guó)柱;曹森;曲雁鵬;李立峰;胡海勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 新特能源股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B1/02
• 分類號(hào): B08B1/02;B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;杜丹丹

本實(shí)用新型提供一種硅芯清洗擦拭裝置，包括：送料機(jī)構(gòu)，用于將上料臺(tái)上的待清洗的硅芯輸送至清洗機(jī)構(gòu)；清洗機(jī)構(gòu)，用于對(duì)輸送來(lái)的硅芯進(jìn)行清洗和擦拭；烘干機(jī)構(gòu)，用于對(duì)清洗后的硅芯進(jìn)行烘干；出料機(jī)構(gòu)，用于將烘干后的硅芯輸送至下料臺(tái)；以及，控制器，其分別與所述送料機(jī)構(gòu)、所述清洗機(jī)構(gòu)、所述烘干機(jī)構(gòu)和所述出料機(jī)構(gòu)電連接，用于控制這些機(jī)構(gòu)動(dòng)作。使用本實(shí)用新型所述的硅芯清洗擦拭裝置，能夠一次完成多根硅芯的清洗、擦拭和烘干，相比人工擦拭效果更好，清洗完全，無(wú)死角，可實(shí)現(xiàn)硅芯切割后快速全面的清潔，并且不會(huì)折損硅芯，從而大大降低了硅芯損傷率和工人的勞動(dòng)強(qiáng)度，提高生產(chǎn)效率，降低成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅芯制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅芯清洗擦拭裝置。

背景技術(shù)

硅芯作為生產(chǎn)多晶硅時(shí)還原爐內(nèi)多晶硅料沉積的載體，其表面潔凈程度將直接影響到多晶硅成品的品質(zhì)，而硅芯在經(jīng)過(guò)去頭尾、線切割、脫膠、錐磨等工序加工至合格尺寸與形狀的過(guò)程中，會(huì)受到硅泥粉塵、有機(jī)物、金屬元素等的污染，因此硅芯的清洗十分重要。

現(xiàn)有硅芯清洗工藝主要為，先通過(guò)人工沖洗再進(jìn)酸洗機(jī)清洗來(lái)達(dá)到硅芯清洗的目的。酸洗一般由HF和HNO₃共同作用，對(duì)硅芯表面進(jìn)行有效的腐蝕，其反應(yīng)如下：

Si+4HNO₃+6HF＝H₂SiF₆+4NO₂+4H₂O

然而，現(xiàn)有清洗工藝中，人工沖洗隨意性大，容易存在盲區(qū)，硅芯表面附著的雜物無(wú)法清洗干凈，需延長(zhǎng)酸腐蝕時(shí)間或重復(fù)酸腐蝕操作以保證清洗質(zhì)量，不僅增加了酸的用量和清洗時(shí)間，還使硅芯的外形尺寸變小，造成硅芯尺寸不合格；同時(shí)，由于大部分硅芯為細(xì)長(zhǎng)的單多晶混合硅芯棒，如常見(jiàn)硅芯為截面：7mm×7mm～15mm×15mm，長(zhǎng)度：2～4m的方硅芯，在人工擦拭時(shí)易發(fā)生因用力不均勻而斷損的現(xiàn)象，造成成品硅芯的浪費(fèi)，而且人工擦拭時(shí)需要翻轉(zhuǎn)4個(gè)面進(jìn)行擦拭，具數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，擦拭100根方硅芯，需要2個(gè)人，連續(xù)作業(yè)1個(gè)小時(shí)，耗費(fèi)人工且效率較低。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了至少部分解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的人工清洗時(shí)硅芯表面清洗不干凈，硅芯損傷，效率低下等技術(shù)問(wèn)題而完成了本實(shí)用新型。

解決本實(shí)用新型技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：

本實(shí)用新型提供一種硅芯清洗擦拭裝置，包括：送料機(jī)構(gòu)，用于將上料臺(tái)上的待清洗的硅芯輸送至清洗機(jī)構(gòu)；清洗機(jī)構(gòu)，用于對(duì)輸送來(lái)的硅芯進(jìn)行清洗和擦拭；烘干機(jī)構(gòu)，用于對(duì)清洗后的硅芯進(jìn)行烘干；出料機(jī)構(gòu)，用于將烘干后的硅芯輸送至下料臺(tái)；以及，控制器，其分別與所述送料機(jī)構(gòu)、所述清洗機(jī)構(gòu)、所述烘干機(jī)構(gòu)和所述出料機(jī)構(gòu)電連接，用于控制這些機(jī)構(gòu)動(dòng)作。

硅芯切割后一般為細(xì)長(zhǎng)條形狀，截面為正方形，使用本實(shí)用新型的清洗擦拭裝置可對(duì)硅芯進(jìn)行輸送式摩擦擦拭加噴灑式?jīng)_洗方式進(jìn)行清洗，從而對(duì)硅芯進(jìn)行更全面的清洗，并且硅芯平直向前輸送，不會(huì)受到外力折損，裝置的清洗參數(shù)和運(yùn)行都由控制器控制，比人工更穩(wěn)定，且無(wú)遺漏，并能實(shí)現(xiàn)一次清洗多根硅芯，節(jié)省人工且提高效率。

進(jìn)一步的，所述清洗機(jī)構(gòu)包括噴洗裝置和硅芯清洗輥；所述噴洗裝置包括多個(gè)角度可調(diào)整的噴頭，用于向所述送料機(jī)構(gòu)輸送來(lái)的硅芯噴射清洗液以沖洗硅芯，以及向所述硅芯清洗輥噴射清洗液以沖洗清洗輥；所述硅芯清洗輥用于對(duì)淋有清洗液的硅芯進(jìn)行擦拭。

進(jìn)一步的，所述噴洗裝置包括前噴洗裝置和后噴洗裝置，且所述硅芯清洗輥位于所述前噴洗裝置和所述后噴洗裝置之間。硅芯從送料機(jī)構(gòu)向前輸送到清洗機(jī)構(gòu)時(shí)，前端懸空，前噴洗裝置先對(duì)硅芯進(jìn)行沖洗，去除硅芯上的大的贓污，再通過(guò)清洗輥擦拭和后噴洗裝置沖洗，達(dá)到分段多重清洗的目的，同時(shí)在清洗輥的上方也設(shè)有噴頭對(duì)清洗輥沖洗，去除清洗輥上的異物，使硅芯清洗更干凈。