[實用新型]低壓化學氣相沉積爐管和低壓化學氣相沉積爐

有效

• 申請號: 201822129699.8
• 申請日: 2018-12-18
• 公開（公告）號: CN209468499U
• 公開（公告）日: 2019-10-08
• 發明（設計）人: 趙超
• 申請（專利權）人: 吉林麥吉柯半導體有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 畢翔宇

1.一種低壓化學氣相沉積爐管，其特征在于，包括反應室，以及套設在所述反應室外的爐管恒溫層，所述反應室的內徑在230mm至232mm之間，外徑在240mm至242mm之間，所述爐管恒溫層為兩端開口的空心管狀結構，所述爐管恒溫層的內徑在258mm至262mm之間，外徑在330mm至350mm之間，在所述爐管恒溫層內壁繞設爐絲，所述爐絲可外接電源加熱。

2.根據權利要求1所述的低壓化學氣相沉積爐管，其特征在于，所述爐管恒溫層的外管壁還設置有至少一個熱偶通孔。

3.根據權利要求2所述的低壓化學氣相沉積爐管，其特征在于，所述爐管恒溫層的外管壁還設置有與所述熱偶通孔對應設置的熱偶，所述熱偶徑向插設于所述熱偶通孔內，所述熱偶可外接溫度顯示裝置。

4.根據權利要求3所述的低壓化學氣相沉積爐管，其特征在于，所述爐管恒溫層的外管壁還設置有與所述熱偶相對應的熱偶固定器。

5.根據權利要求1所述的低壓化學氣相沉積爐管，其特征在于，所述爐管恒溫層的外管壁還設置有至少一個爐絲引線端，所述爐絲引線端軸向設置在所述爐管恒溫層的外管壁。

6.根據權利要求1所述的低壓化學氣相沉積爐管，其特征在于，所述反應室為空心石英管。

7.根據權利要求1所述的低壓化學氣相沉積爐管，其特征在于，所述爐管恒溫層的內壁靠近兩端開口處均設置有圓環形內槽。

8.根據權利要求7所述的低壓化學氣相沉積爐管，其特征在于，所述低壓化學氣相沉積爐管還包括與所述圓環形內槽對應設置的擋風環，所述擋風環的外邊緣與爐管重合。

9.一種低壓化學氣相沉積爐，其特征在于，包括如權利要求1至8任一項所述的低壓化學氣相沉積爐管。