[實用新型]壓力傳感器

有效

• 申請號: 201822129309.7
• 申請日: 2018-12-18
• 公開（公告）號: CN209296210U
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: 大澤朝華;中村俊晃;白井寬
• 申請（專利權）人: 日本電產東測有限公司
• 主分類號: G01L19/00
• 分類號: G01L19/00;G01L19/14;G01L19/06
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 韓香花;黃綸偉

本實用新型提供一種壓力傳感器。壓力傳感器具有：傳感器元件(5)；搭載有傳感器元件(5)并由金屬材料構成的傳感器支承部件(4)；貫通傳感器支承部件(4)的端子(6)；以及安裝于傳感器支承部件(4)并由非金屬材料構成的殼體(9)，傳感器支承部件(4)以及殼體(9)具有阻止傳感器支承部件(4)與殼體(9)相互遠離的阻止部(20)。

技術領域

本實用新型涉及壓力傳感器。

背景技術

以往，已知有檢測液體、氣體等流體的壓力的壓力傳感器。例如，在日本特開2016-45172號公報中所記載的壓力傳感器具備半導體壓力檢測元件、基座、與基座相對配置的承接部件以及被夾持在基座與承接部件之間的隔板，這些被容納在罩內。在此，在基座與隔板之間形成有封入油的受壓空間。半導體壓力檢測元件以配置于受壓空間內的狀態設置于基座。基座、承接部件以及隔板分別由金屬制成。罩由不銹鋼等金屬制成，通過激光焊接而與承接部件的外周部接合。在罩的內部填充有環氧系或聚氨酯系樹脂。

在日本特開2016-45172號公報所記載的壓力傳感器中，由于罩是由不銹鋼等金屬制成，因此很難實現輕量化。因此，可以考慮由樹脂等非金屬制成罩，但是在該文獻所記載的壓力傳感器中，在由非金屬制成罩的情況下，罩只通過由填充于罩內的樹脂產生的粘接力而固定于基座。在這樣的情況下，當該粘接力下降時，則罩與罩內的樹脂以及元件等一同從基座脫落，有可能發生故障。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種能夠以較高的可靠性相互固定由金屬制成的傳感器支承部件與由非金屬制成的罩的壓力傳感器。

本申請的例示性的實用新型的壓力傳感器具有：

傳感器元件，所述傳感器元件輸出與流體的壓力對應的信號；

傳感器支承部件，所述傳感器支承部件具有一側的第1主面和與該第1主面相對的另一側的第2主面，在所述第1主面搭載有所述傳感器元件，該傳感器支承部件由金屬材料構成；

端子，所述端子與所述傳感器元件電連接，并從所述一側向所述另一側貫通了所述傳感器支承部件；以及

殼體，所述殼體覆蓋所述傳感器支承部件的所述第2主面，并且安裝于所述傳感器支承部件，該殼體由非金屬材料構成，

所述傳感器支承部件以及所述殼體具有阻止所述傳感器支承部件與所述殼體相互遠離的阻止部。

在上述實施方式中，所述殼體在與所述傳感器支承部件接觸的所述一側的周緣具有向徑向外側突出的至少1個第1突出部，所述傳感器支承部件具有：搭載有所述傳感器元件的主體部；以及從所述主體部的外周部向徑向外側突出并固定了所述第1突出部的至少1個第2突出部，所述阻止部具有所述第1突出部以及所述第2突出部。

在上述實施方式中，所述殼體在與所述傳感器支承部件接觸的所述一側的周緣具有向徑向外側突出的凸緣部，所述傳感器支承部件具有：搭載有所述傳感器元件的主體部；以及從所述主體部的外周部向徑向外側突出并固定了所述凸緣部的至少1個突出部，所述阻止部具有所述凸緣部以及所述突出部。

在上述實施方式中，所述突出部在厚度方向上夾持所述凸緣部而鑿緊固定所述凸緣部。

在上述實施方式中，所述至少1個突出部包含沿所述凸緣部的周向排列的多個所述突出部。

在上述實施方式中，所述至少1個突出部包含沿所述凸緣部的周向排列的多個所述突出部。

在上述實施方式中，所述凸緣部具有容納所述突出部的至少一部分的缺口部。

在上述實施方式中，所述凸緣部設置于所述殼體的所述一側的端部。

在上述實施方式中，所述突出部的厚度比所述主體部的厚度薄。