[實用新型]一種半導體加工車間加工用工作臺

有效

• 申請號: 201822122690.4
• 申請日: 2018-12-18
• 公開（公告）號: CN209344039U
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發明（設計）人: 郭春輝
• 申請（專利權）人: 漳州市龍文區杰成電子產品制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;H01L21/677;H01L21/68
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導體加工車間加工用工作臺，包括凹型底座(1)，其特征在于：所述凹型底座(1)的內腔設置有升降裝置(2)，所述凹型底座(1)的頂部固定連接有工作臺(3)，所述工作臺(3)頂部的中心處放置有半導體材料板(4)，所述半導體材料板(4)的兩側均設置有夾持裝置(5)。

2.根據權利要求1所述的一種半導體加工車間加工用工作臺，其特征在于：所述升降裝置(2)包括滑槽(201)、步進電機(202)、螺紋柱(203)、軸承座(204)、螺紋帽(205)、橫板(206)、滑塊(207)、升降柱(208)和基座(209)，所述凹型底座(1)內腔兩側的頂部均開設有滑槽(201)，所述凹型底座(1)頂部的中心處固定連接有步進電機(202)，所述步進電機(202)的輸出軸固定連接有螺紋柱(203)，所述螺紋柱(203)的底部活動連接有軸承座(204)，所述軸承座(204)的底部與凹型底座(1)內腔的底部固定連接，所述螺紋柱(203)的頂部滑動連接有螺紋帽(205)，所述螺紋帽(205)的兩側均橫向固定連接有橫板(206)，所述橫板(206)的兩側均固定連接有與滑槽(201)配合使用的滑塊(207)，所述橫板(206)底部的四周均豎向固定連接有升降柱(208)，所述升降柱(208)的底部貫穿凹型底座(1)并固定連接有基座(209)。

3.根據權利要求1所述的一種半導體加工車間加工用工作臺，其特征在于：所述夾持裝置(5)包括固定架(501)、螺紋筒(502)、螺紋桿(503)、卡座(504)和把手(505)，所述工作臺(3)頂部的兩側均固定連接有固定架(501)，所述固定架(501)內腔外側的中心處嵌設有螺紋筒(502)，所述螺紋筒(502)的內腔滑動連接有螺紋桿(503)，所述螺紋桿(503)的內側固定連接有卡座(504)，所述螺紋桿(503)的外側固定連接有把手(505)。

4.根據權利要求1所述的一種半導體加工車間加工用工作臺，其特征在于：所述工作臺(3)頂部的左側豎向固定連接有固定柱(6)，所述固定柱(6)的頂部通過活動軸活動連接有調節柱(7)，所述調節柱(7)的頂部固定連接有照明燈(8)，所述照明燈(8)位于半導體材料板(4)的上方。

5.根據權利要求1所述的一種半導體加工車間加工用工作臺，其特征在于：所述凹型底座(1)內腔頂部的兩側均焊接有防撞彈簧(11)，所述防撞彈簧(11)位于橫板(206)的頂部，所述凹型底座(1)內腔底部的兩側均橫向固定連接有固定塊(9)，所述固定塊(9)的內側固定連接有與升降柱(208)滑動連接的限位滑套(10)。