[實(shí)用新型]一種用于電子元器件行業(yè)的純水換熱系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822121925.8
• 申請日: 2018-12-18
• 公開（公告）號: CN209558968U
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田春燕;黃顯飛;夏沁
• 申請（專利權(quán)）人: 上海豐律流體技術(shù)有限公司
• 主分類號: F28D9/00
• 分類號: F28D9/00;F28F19/01;F28F27/00
• 代理公司: 上海領(lǐng)洋專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31292
• 代理人: 羅曉鵬

本申請公開了一種用于電子元器件行業(yè)的純水換熱系統(tǒng)，該系統(tǒng)有兩組板式換熱器，左側(cè)為一次側(cè)，為系統(tǒng)提供冷量，右側(cè)為二次側(cè)，接收系統(tǒng)的冷量，工藝供水流道上配置電導(dǎo)率傳感器，所述工藝回水流道上連接有RO補(bǔ)水管道，相應(yīng)設(shè)置的溫度傳感器、壓力傳感器、電導(dǎo)率傳感器、壓差傳感器、電動調(diào)節(jié)閥、電磁閥以及電動壓差調(diào)節(jié)閥均連接控制器。本申請降低了換熱能耗，在過渡季節(jié)和冬季工況時，應(yīng)用冷卻水供冷，可關(guān)閉冷水主機(jī)，降低了工藝水的制備成本；自動化程度高，運(yùn)行能效高，工藝供水水質(zhì)高，降低電子元器件的生產(chǎn)成本、提高成品率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及一種用于電子元器件行業(yè)的純水換熱系統(tǒng)。

背景技術(shù)

純水指的是不含雜質(zhì)的H₂O，又名高純水，是指化學(xué)純度極高的水，普遍應(yīng)用于電子行業(yè)。在電子元器件的生產(chǎn)過程當(dāng)中，純水主要用于清洗以及用來配置各種溶液、漿料。電子設(shè)備廠一般24小時工作，純水需求量大。而純水根據(jù)工藝要求須達(dá)到相應(yīng)的溫度，所以工廠需要配置冷卻水設(shè)備。常規(guī)做法(圖1)是工廠配置冷凍主機(jī)1’，主機(jī)提供7/12℃冷水(冷凍水供水4’為7℃，冷凍水回水5’為12℃)，工藝回水(純水)6’通過板式換熱2’換熱，獲得滿足溫度要求的工藝供水7’。在制冷系統(tǒng)中，耗能設(shè)備主要有冷凍主機(jī)(1’)和水泵(3’)，其中冷凍主機(jī)的耗能非常大，純水冷卻的費(fèi)用占電子元器件生產(chǎn)成本的比例極高，故工廠需要一種更節(jié)能的換熱方式冷卻純水。另一方面，純水水質(zhì)已經(jīng)成為影響電子元器件產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)成品率以及生產(chǎn)成本的重要因素之一，需要時刻監(jiān)測水質(zhì)的狀況，目前做法是給系統(tǒng)補(bǔ)水8’為符合要求的純水，但系統(tǒng)運(yùn)行過程中，由于設(shè)備的影響，水質(zhì)可能會發(fā)生變化，所以需要一種更準(zhǔn)確控制系統(tǒng)水質(zhì)指標(biāo)的方式。

綜合所述，目前需要設(shè)計(jì)一種用于電子元器件行業(yè)的節(jié)能、精確控制水質(zhì)的換熱系統(tǒng)。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于電子元器件行業(yè)的純水換熱系統(tǒng)。

為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型提供的一種用于電子元器件行業(yè)的純水換熱系統(tǒng)，采用如下技術(shù)方案：

一種用于電子元器件行業(yè)的純水換熱系統(tǒng)，包括兩組板式換熱器，第一組板式換熱器A的一次側(cè)設(shè)置有冷卻水進(jìn)水流道和冷卻水出水流道，冷卻水進(jìn)水流道沿著水流進(jìn)入方向順次連接有冷卻水供水口、過濾器閥組和進(jìn)水閥組，冷卻水出水流道沿著水流排出方向順次連接有出水閥組、電動調(diào)節(jié)閥閥組和冷卻水出水口；第二組板式換熱B的一次側(cè)設(shè)置有冷凍水進(jìn)水流道和冷凍水出水流道，所述冷凍水進(jìn)水流道沿著水流進(jìn)入方向順次連接有冷動水供水口、過濾器閥組和進(jìn)水閥組，冷凍水出水流道沿著水流排出方向順次連接有出水閥組、電動調(diào)節(jié)閥閥組和冷凍水出水口；其中，所述過濾器閥組包含順次連接的第一蝶閥、第一壓力表、第一過濾器、第二壓力表、和第二蝶閥；所述進(jìn)水閥組包含順次連接的第三蝶閥、第三壓力表、第一溫度計(jì)和第一泄水閥；所述出水閥組包含順次連接的第二溫度計(jì)、第四壓力表和第四蝶閥；所述電動調(diào)節(jié)閥閥組包含順次連接的第五蝶閥、第一電動調(diào)節(jié)閥和第六蝶閥；

板式換熱器的二次側(cè)設(shè)置有電子元器件工藝回水流道和工藝供水流道，工藝回水流道沿著水流方向順次連接有工藝回水口、水泵閥組和袋式過濾器閥組，工藝回水進(jìn)入第一組和第二組板式換熱器換熱，沿著工藝供水流道由工藝給水口流出；其中，所述水泵閥組包含順次連接的第七蝶閥、第五壓力表、第二過濾器、第六壓力表、第二泄水閥、水泵、第七壓力表、第一止回閥和第八蝶閥；所述袋式過濾器閥組包含順次連接的第九蝶閥、第八壓力表、袋式過濾器、第九壓力表和第十蝶閥，所述袋式過濾器下部順次連接有蝶閥和雜質(zhì)排出口；