[實(shí)用新型]一種防止石墨舟滑落的保護(hù)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822118978.4
• 申請日: 2018-12-18
• 公開（公告）號(hào): CN210136854U
• 公開（公告）日: 2020-03-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 繆愛群;張琳
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江鴻禧能源股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33253
• 代理人: 丁鵬

本實(shí)用新型公開了一種防止石墨舟滑落的保護(hù)裝置，該保護(hù)裝置由五塊擋板（A，B，C，D，E）相互連接組成，并呈對稱分布；所述的擋板（A）、擋板（B）、擋板（C）、擋板（D）依次以互相垂直的方式連接，并且擋板（B）的高度小于擋板（D）的高度；所述的擋板（E）與擋板（D）所成的角度θ大于等于90o小于等于180o；所述的擋板（C）的長度比石墨舟舟角的寬度長2mm及以上，且在水平方向投影長度小于石墨舟舟角外側(cè)長度（a）。本實(shí)用新型的有益效果是有效地降低了生產(chǎn)成本和提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶硅太陽能電池片制造領(lǐng)域，具體地涉及一種防止石墨舟滑落的保護(hù)裝置。

背景技術(shù)

在晶體硅太陽能電池片生產(chǎn)過程中的PECVD工序，利用石墨舟承載硅片實(shí)現(xiàn)鍍膜工藝流程。在此過程中，通過石墨舟小推車實(shí)現(xiàn)石墨舟的轉(zhuǎn)移，并需要頻繁地傾斜小推車來檢查石墨舟內(nèi)硅片的狀態(tài)。因此，會(huì)出現(xiàn)石墨舟舟角斷裂破損導(dǎo)致承載硅片的石墨舟從小推車上滑落的情況，造成生產(chǎn)成本增加、生產(chǎn)效率降低的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種防止石墨舟滑落的保護(hù)裝置，達(dá)到降低生產(chǎn)成本、提高生產(chǎn)效率的目的。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是提供一種防止石墨舟滑落的保護(hù)裝置，該保護(hù)裝置由五塊擋板（A,B,C,D,E）相互連接組成，并呈對稱分布；所述的擋板（A）、擋板（B）、擋板（C）、擋板（D）依次以互相垂直的方式連接，并且擋板（B）的高度小于擋板（D）的高度；所述的擋板（E）與擋板（D）所成的角度θ大于等于90o小于等于180o；所述的擋板（C）的長度比石墨舟舟角的寬度長2mm及以上，且在水平方向投影長度小于石墨舟舟角外側(cè)長度（a）。

本實(shí)用新型的有益效果是有效地降低生產(chǎn)成本和提高生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1 現(xiàn)有技術(shù)中石墨舟和小推車使用示意圖

圖中：1表示石墨舟；2表示石墨舟上料小推車承載面

圖2 本實(shí)用新型中一種防止石墨舟滑落的保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)圖

圖中：A，B，C，D，E分別表示不同位置的擋板；θ表示擋板（E）與擋板（D）所成的角度；a表示石墨舟舟角外側(cè)長度。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步地詳細(xì)說明。

在本實(shí)施方式中，采用的對比實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方案分別為現(xiàn)有技術(shù)中石墨舟和本實(shí)用新型中一種防止石墨舟滑落的保護(hù)裝置使用情況統(tǒng)計(jì)分析。本實(shí)用新型技術(shù)方案一種防止石墨舟滑落的保護(hù)裝置，該保護(hù)裝置由五塊擋板（A,B,C,D,E）相互連接組成，并呈對稱分布；所述的擋板（A）、擋板（B）、擋板（C）、擋板（D）依次以互相垂直的方式連接，并且擋板（B）的高度小于擋板（D）的高度；所述的擋板（E）與擋板（D）所成的角度θ為120o；所述的擋板（C）的長度比石墨舟舟角的寬度長2.5mm，石墨舟舟角外側(cè)長度（a）為52mm。通過實(shí)驗(yàn)統(tǒng)計(jì)，采用現(xiàn)有技術(shù)中石墨舟使用方法，因石墨舟舟角斷裂破損導(dǎo)致承載硅片的石墨舟從小推車上滑落的情況在一年內(nèi)出現(xiàn)三次；而采用本實(shí)用新型中一種防止石墨舟滑落的保護(hù)裝置的設(shè)計(jì)方案，未出現(xiàn)因石墨舟舟角斷裂破損導(dǎo)致承載硅片的石墨舟從小推車上滑落的情況。因此，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案有效地降低了生產(chǎn)成本和提高生產(chǎn)效率。