[實(shí)用新型]熱絲化學(xué)氣相沉積用基片臺(tái)及熱絲化學(xué)氣相沉積裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822113118.1
• 申請(qǐng)日: 2018-12-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209292472U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐永炳;王星永;王陶;黃磊;李星星
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳先進(jìn)技術(shù)研究院
• 主分類號(hào): C23C16/27
• 分類號(hào): C23C16/27;C23C16/458
• 代理公司: 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 逯恒

1.一種熱絲化學(xué)氣相沉積用基片臺(tái)，其特征在于，所述基片臺(tái)包括用于承載基體的承載面，所述承載面為斜面且所述承載面與熱絲之間的距離呈梯度變化。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲化學(xué)氣相沉積用基片臺(tái)，其特征在于，相對(duì)于所述熱絲所在平面，所述承載面的傾斜角度為1-89°。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲化學(xué)氣相沉積用基片臺(tái)，其特征在于，所述基片臺(tái)為水冷基片臺(tái)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲化學(xué)氣相沉積用基片臺(tái)，其特征在于，所述基片臺(tái)的縱向截面形狀為三角形或梯形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲化學(xué)氣相沉積用基片臺(tái)，其特征在于，所述基片臺(tái)的高度可調(diào)節(jié)；

和/或，所述承載面的傾斜角度可調(diào)節(jié)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任意一項(xiàng)所述的熱絲化學(xué)氣相沉積用基片臺(tái)，其特征在于，所述承載面的邊緣處設(shè)置有凸起，所述凸起將所述承載面圍設(shè)成一凹槽。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的熱絲化學(xué)氣相沉積用基片臺(tái)，其特征在于，所述凸起上設(shè)置有若干個(gè)用于指示基體放置高度的標(biāo)識(shí)部。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的熱絲化學(xué)氣相沉積用基片臺(tái)，其特征在于，所述標(biāo)識(shí)部為豁口，兩個(gè)相鄰的豁口高度差為1-10mm。

9.一種熱絲化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1-8任意一項(xiàng)所述的熱絲化學(xué)氣相沉積用基片臺(tái)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的熱絲化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，包括沉積室，所述沉積室內(nèi)部設(shè)置有所述基片臺(tái)和發(fā)熱裝置，所述發(fā)熱裝置設(shè)置在所述基片臺(tái)的上方；

所述發(fā)熱裝置包括熱絲和電極柱組件，所述熱絲連接在電極柱組件之間；

所述熱絲與所述承載面之間的距離為1-20mm。