[實用新型]一種供氣裝置

有效

• 申請號: 201822112431.3
• 申請日: 2018-12-14
• 公開（公告）號: CN209213472U
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 常軍
• 申請（專利權）人: 上海正帆半導體設備有限公司;上海正帆科技股份有限公司
• 主分類號: F17D3/01
• 分類號: F17D3/01;F17D1/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種供氣裝置，其特征在于，包括：

控制總路，所述控制總路包括氣源(1)和電控制閥組件(2)，所述氣源(1)與所述電控制閥組件(2)連接；

多條控制支路，各所述控制支路均包括依次串聯的機械手閥(3)、梭閥(4)和氣動控制閥(5)，所述電控制閥組件(2)與各所述控制支路的所述機械手閥(3)相連，所述氣源(1)還與各所述控制支路上的所述機械手閥(3)相連；

還包括總控機械手閥(6)，所述總控機械手閥(6)的輸入口與所述氣源(1)相連，輸出口與各所述控制支路上的所述梭閥(4)相連。

2.根據權利要求1所述的供氣裝置，其特征在于，所述機械手閥(3)包括第一輸入口(31)、第二輸入口(32)和第一輸出口(33)，所述第一輸入口(31)與所述氣源(1)連接，所述第二輸入口(32)與所述電控制閥組件(2)連接，所述第一輸出口(33)與所述梭閥(4)相連。

3.根據權利要求2所述的供氣裝置，其特征在于，所述總控機械手閥(6)包括第三輸入口(61)、第四輸入口(62)和第二輸出口(63)，所述第三輸入口(61)與所述氣源(1)連接，所述第四輸入口(62)連接有消音器(64)，所述第二輸出口(63)與各所述控制支路上的所述梭閥(4)相連。

4.根據權利要求3所述的供氣裝置，其特征在于，所述梭閥(4)包括第一進口(41)、第二進口(42)和出口(43)，每條所述控制支路上的所述梭閥(4)的所述第一進口(41)與該所述控制支路上的所述機械手閥(3)的所述第一輸出口(33)相接，所述出口(43)與該所述控制支路上的所述氣動控制閥(5)相連，所述總控機械手閥(6)的所述第二輸出口(63)與各所述梭閥(4)的所述第二進口(42)均相連。

5.根據權利要求4所述的供氣裝置，其特征在于，每條所述控制支路上的所述機械手閥(3)的所述第一輸出口(33)與該所述控制支路上的所述梭閥(4)的所述第一進口(41)之間設置有指示器(7)。

6.根據權利要求4所述的供氣裝置，其特征在于，所述總控機械手閥(6)的所述第二輸出口(63)與各所述梭閥(4)的第二進口(42)之間至少設置一個指示器(7)。

7.根據權利要求2所述的供氣裝置，其特征在于，所述電控制閥組件(2)包括控制模塊(21)和電磁閥(22)，所述電磁閥(22)與所述控制模塊(21)電連接，所述氣源(1)與所述電磁閥(22)連接。

8.根據權利要求7所述的供氣裝置，其特征在于，所述電磁閥(22)與各所述機械手閥(3)的所述第二輸入口(32)連接。