[實用新型]一種真空室用降溫裝置有效
| 申請號： | 201822106312.7 | 申請日： | 2018-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN209341648U | 公開（公告）日： | 2019-09-03 |
| 發明（設計）人： | 舒逸;劉光斗;李贊 | 申請（專利權）人： | 湖南玉豐真空科學技術有限公司 |
| 主分類號： | F25D1/02 | 分類號： | F25D1/02;C23C14/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 水冷管 底板 蓋板 真空室 真空室壁 水冷槽 本實用新型 安裝維護 降溫裝置 吸熱 基片表面 螺栓固定 吸收熱量 整體安裝 出水端 固定柱 進水端 冷卻水 密封 穿透 吸收 | ||
【權利要求書】：
1.一種真空室用降溫裝置，其特征在于：包括底板、蓋板、水冷管，所述底板通過固定柱安裝在真空室壁上，在底板朝向真空室一面開有S型迂回彎曲的水冷槽，水冷槽均勻分布在底板上，水冷管穿透真空室壁后嵌在水冷槽中，水冷管進水端和出水端與真空室壁連接處通過密封裝置密封，蓋板通過螺栓固定在底板上并封住水冷管。
2.如權利要求1所述的一種真空室用降溫裝置，其特征在于：水冷管進水端和出水端與真空室壁連接處通過可拆卸的靜密封裝置密封。
3.如權利要求1或2所述的一種真空室用降溫裝置，其特征在于：包括上下兩組拼接在一起的底板、蓋板、水冷管，上部水冷管和下部水冷管的出水端和進水端集中設置在一處，下部水冷管從上部底板下方穿過后進入下部的底板中。
4.如權利要求3所述的一種真空室用降溫裝置，其特征在于：在上部蓋板與下部蓋板拼接縫處設有護板蓋住拼接縫。
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