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[實用新型]一種氣液分離裝置有效

專利信息
申請號: 201822103620.4 申請日: 2018-12-14
公開(公告)號: CN209405754U 公開(公告)日: 2019-09-20
發明(設計)人: 常軍 申請(專利權)人: 上海正帆半導體設備有限公司;上海正帆科技股份有限公司
主分類號: B01D19/00 分類號: B01D19/00
代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332 代理人: 孟金喆
地址: 201613 上*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 進液口 排氣口 管內 第二管 氣液分離裝置 本實用新型 液分離裝置 閥門 化工技術領域 壓力檢測單元 液位傳感器 氣泡分離 下端開口 預設壓力 上端 氣壓 下端 摻雜 伸出 維修 檢測 制作
【權利要求書】:

1.一種氣液分離裝置,其特征在于,包括:

第一管,其上設有第一進液口(11)和排氣口(13),所述排氣口(13)位于所述第一進液口(11)上方;

第二管(2),其下端置于所述第一管內,且所述第二管(2)下端開口形成第二進液口(21),其上端伸出所述第二管(2),所述第二進液口(21)位于所述第一進液口(11)下方;

液位傳感器,設于所述第一管內且高度位于所述第一進液口(11)與所述排氣口(13)之間;

壓力檢測單元,用于檢測所述第一管內的氣壓;及

第一閥門,設于所述排氣口(13),在所述第一管內的氣壓低于預設壓力時,所述第一閥門處于關閉狀態。

2.根據權利要求1所述的氣液分離裝置,其特征在于,所述第二進液口(21)為斜面口。

3.根據權利要求2所述的氣液分離裝置,其特征在于,所述斜面口與水平面的夾角為45°。

4.根據權利要求1所述的氣液分離裝置,其特征在于,所述第二管(2)外壁與所述第一管側壁之間存在間隙,且所述第一管上端與所述第二管(2)之間密封設置。

5.根據權利要求1所述的氣液分離裝置,其特征在于,所述第一進液口(11)處設有第二閥門。

6.根據權利要求1所述的氣液分離裝置,其特征在于,所述第一管的下端設有第一排液口(12),所述第一排液口(12)位于所述第二進液口(21)下方。

7.根據權利要求6所述的氣液分離裝置,其特征在于,所述第一排液口(12)上設有第三閥門。

8.根據權利要求1至7任一項所述的氣液分離裝置,其特征在于,所述第一管包括從上至下依次連接的第一管段(14)、第二管段(15)及第三管段(16),且所述第二管段(15)的外徑大于所述第一管段(14)的外徑和所述第三管段(16)的外徑。

9.根據權利要求1至7任一項所述的氣液分離裝置,其特征在于,所述壓力檢測單元為壓力表或壓力傳感器。

10.根據權利要求1至7任一項所述的氣液分離裝置,其特征在于,所述第一管和所述第二管(2)均由可溶性聚四氟乙烯材料制成。

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