[實用新型]一種用于平板式PECVD鍍膜系統的水冷組件

有效

• 申請號: 201822096412.6
• 申請日: 2018-12-13
• 公開（公告）號: CN209456569U
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發明（設計）人: 何振杰
• 申請（專利權）人: 杭州海萊德智能科技有限公司
• 主分類號: C23C16/513
• 分類號: C23C16/513;C23C16/46
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型的一種用于平板式PECVD鍍膜系統的水冷組件，包括水冷固定件單元、進液口和出液口；水冷固定件單元設置有前蓄液腔體、后蓄液筒和隔液板，前蓄液腔體與隔液板之間形成前蓄液內腔，后蓄液筒和隔液板之間形成后蓄液內腔；前蓄液內腔和后蓄液內腔通過隔液板隔開，隔液板上設置有多個導流口；前蓄液內腔與進液口和出液口連通；后蓄液內腔通過導流口與前蓄液內腔連通；液體從進液口注入并通過導流口流經前蓄液內腔和所述后蓄液內腔。本實用新型的用于平板式PECVD鍍膜系統的水冷組件，通過冷卻液體帶走密封圈處或者其他周邊工件處的熱量，使之可長期工作在更高溫度環境，有利于改善鍍膜系統生長薄膜的質量。

技術領域

本實用新型涉及光伏設備領域，更具體地說，涉及一種用于平板式PECVD鍍膜系統的水冷組件。

背景技術

PECVD(等離子體增強化學氣相沉積法)鍍膜系統中微波傳輸天線外部由石英管實現真空與大氣環境之間的隔離，在石英管兩端采用O型橡膠密封圈進行真空密封。由于工藝室內的溫度遠高于橡膠密封圈的工作溫度，因此必須要對橡膠密封圈進行必要的冷卻才能實現真空與大氣之間的隔離。

目前行業內鍍膜系統均采用的高壓鼓風機強制風冷方式對密封圈進行冷卻，工藝溫度不能超過420℃。實驗數據表明，當工藝溫度達到450℃時，薄膜的品質會對最終產品有著非常明顯的提高。但目前的冷卻方式無法使密封圈長期工作在450℃。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種用于平板式PECVD鍍膜系統的水冷組件，將鍍膜系統內的冷卻方式由單一的強制風冷改為風冷+水冷組合。即，在保證原來的冷卻方法之外，將冷卻液體引入到水冷組件以對水冷組件周邊的密封圈或者其他周邊工件進行冷卻，通過冷卻液體帶走密封圈處或者其他周邊工件處的熱量，使之可長期工作在更高溫度環境，有利于改善鍍膜系統生長薄膜的質量。

為了達到上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種用于平板式PECVD鍍膜系統的水冷組件，包括水冷固定件單元、進液口和出液口；

所述水冷固定件單元設置有前蓄液腔體、后蓄液筒和隔液板，所述前蓄液腔體與所述隔液板之間形成前蓄液內腔，所述后蓄液筒和所述隔液板之間形成后蓄液內腔；

所述前蓄液內腔和所述后蓄液內腔通過所述隔液板隔開，所述隔液板上設置有多個導流口；

所述前蓄液內腔與所述進液口和所述出液口連通；

所述后蓄液內腔通過導流口與所述前蓄液內腔連通；

液體從進液口注入并通過所述導流口流經所述前蓄液內腔和所述后蓄液內腔。

優選的，所述水冷固定件單元包括前水冷固定件和后水冷固定件；

所述前水冷固定件包括隔液板和前蓄液腔體，所述隔液板上設置有多個導流口；所述前蓄液內腔與所述進液口和所述出液口連通；

所述后水冷固定件包括隔離筒和后蓄液筒，所述隔液板套接在所述隔離筒外周；

所述隔離筒、所述隔液板和所述前蓄液腔體之間形成前蓄液內腔，所述隔離筒、所述隔液板與所述后蓄液筒之間形成后蓄液內腔。

優選的，所述前蓄液內腔包括第一前蓄液內腔和第二前蓄液內腔；

所述第一前蓄液內腔和所述第二前蓄液內腔通過隔腔板隔開，所述進液口與所述第一前蓄液內腔連通，所述出液口與所述第二前蓄液內腔連通；

液體從進液口注入所述第一前蓄液內腔并通過導流口流入所述后蓄液內腔，再從所述后蓄液內腔通過導流口流入所述第二前蓄液內腔，以從所述出液口流出。

優選的，所述導流口包括進液導流口和出液導流口，所述進液導流口與所述第一前蓄液內腔連通，所述出液導流口與所述第二前蓄液內腔連通。