[實用新型]一種化學銅在線分析儀有效

申請號：	201822094144.4	申請日：	2018-12-13
公開（公告）號：	CN209327223U	公開（公告）日：	2019-08-30
發明（設計）人：	王建軍;吳義群	申請（專利權）人：	上海樸維自控科技有限公司
主分類號：	G01N21/78	分類號：	G01N21/78
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	200000 上海市閔***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	蠕動泵連通本實用新型在線分析儀光電開關滴定液電磁閥化學銅泵管槽液滴定取樣更換周期體積定容自動校準反應釜廢液桶計量管傳感器脈沖變形計量
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【說明書】：

本實用新型公開了一種化學銅在線分析儀，包括純水倉、滴定液倉、槽液倉和廢液桶，其中，純水倉、滴定液倉和槽液倉連通至電磁閥，其中，電磁閥連通至第一蠕動泵、第二蠕動泵和第三蠕動泵；第二蠕動泵連通至銅傳感器；第一蠕動泵通過第一流量光電開關和第二流量光電開關連通至反應釜。本實用新型1、取樣通過體積定容方式減少由于蠕動泵長期使用泵管變形造成的取樣不穩定的缺點，延長了泵管的更換周期；提高了準確性降低了成本；2、光電與計量管的使用可針對泵的脈沖精確計算滴定體積，比現有單獨依靠泵計量滴定體積的可靠性提高很多，使分析結果更為準確；3、儀器定期自動校準pH電極與定。

技術領域

本實用新型涉及一種化學銅分析儀，特別涉及一種化學銅在線分析儀。

背景技術

隨著線路板行業的不斷發展對于現場制程的管控力度也在不斷上升。為了滿足微細化制程所需，其關鍵技術如：在線藥液管控、添加也遇到了更大的挑戰。而先進的測量技術則是更好的制程工藝控制和更高的成品率的保證。而且在化銅制程由于制程本身不穩定，需要人員高頻率的化驗分析。

現有在線自動滴定儀包括進樣單元、滴定單元、測量單元和控制單元，進樣單元是通過蠕動泵將樣品直接加入測量杯中，滴定單元是通過另一個蠕動泵將滴定試劑直接滴加到測量杯中。由于蠕動泵存在定時取樣的重復性差，并且使用時間越長，其準確性及重復性更差及工作時間長還會使泵管變形等缺陷，所以上述在線自動滴定儀的取樣及滴定的準確性很難得到保證。目前，為保證在線自動滴定儀分析的準確性，一般采用不斷更換泵管的方法，這不僅增加了在線自動滴定儀的維護工作量，也增加了使用成本，降低了在線自動滴定儀的使用壽命。因此，市場急需開發一種分析準確性高、使用成本低及使用壽命長的在線自動滴定儀。現有滴定儀的測量單元多數只能針對單一樣本進行分析，而化銅產線藥液為多組分組成，現有滴定儀不能很好滿足客戶的實際需要。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是克服現有技術的缺陷，提供一種化學銅在線分析儀。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了如下的技術方案：

本實用新型一種化學銅在線分析儀，包括純水倉、滴定液倉、槽液倉和廢液桶，其中，所述純水倉、所述滴定液倉和所述槽液倉連通至電磁閥，其中，

所述電磁閥連通至第一蠕動泵、第二蠕動泵和第三蠕動泵；

所述第二蠕動泵連通至銅傳感器；

所述第一蠕動泵通過第一流量光電開關和第二流量光電開關連通至反應釜；

所述反應釜內有電極。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述反應釜的底部設置有純水攪拌裝置。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述第一蠕動泵為滴定泵；所述第二蠕動泵為取樣泵；所述第三蠕動泵為排廢泵。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述電磁閥為兩位三通電磁閥。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述所述反應釜和所述第三蠕動泵連通至廢液桶。