[實用新型]多步沉積的高效晶硅異質結太陽能電池結構有效

申請號：	201822090103.8	申請日：	2018-12-13
公開（公告）號：	CN209087855U	公開（公告）日：	2019-07-09
發明（設計）人：	郭小勇;易治凱;汪濤;王永謙	申請（專利權）人：	江蘇愛康能源研究院有限公司
主分類號：	H01L31/0224	分類號：	H01L31/0224;H01L31/0216;H01L31/18
代理公司：	江陰市揚子專利代理事務所(普通合伙) 32309	代理人：	隋玲玲
地址：	215600 江蘇省***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	非晶硅本征層多步沉積摻雜層非晶硅異質結太陽能電池本實用新型導電膜晶硅光電轉換效率缺陷態密度太陽能電池鈍化效果晶硅表面最外層電極沉積多層兩層薄膜背面
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【權利要求書】：

1.一種多步沉積的高效晶硅異質結太陽能電池結構，它包括N型晶體硅片（1），所述N型晶體硅片（1）的正面和背面均設有非晶硅本征層，所述正面的非晶硅本征層的外側設有n型非晶硅摻雜層（6），所述背面的非晶硅本征層的外側設有p型非晶硅摻雜層（7），所述n型非晶硅摻雜層（6）和p型非晶硅摻雜層（7）的外側均設有TCO導電膜（8），所述TCO導電膜（8）的外側均設有若干Ag電極（9），其特征在于：所述非晶硅本征層設有多層，相鄰兩層非晶硅本征層之間均設有H等離子體處理層，正面最外層的非晶硅本征層和n型非晶硅摻雜層（6）之間設有H等離子體處理層，背面最外層的非晶硅本征層和p型非晶硅摻雜層（7）之間設有H等離子體處理層。

2.根據權利要求1所述的一種多步沉積的高效晶硅異質結太陽能電池結構，其特征在于：所述非晶硅本征層的總厚度為6~12nm，每層非晶硅本征層的厚度大于2nm。

3.根據權利要求1所述的一種多步沉積的高效晶硅異質結太陽能電池結構，其特征在于: 所述n型非晶硅摻雜層（6）的厚度為4~8nm，所述p型非晶硅摻雜層（7）的厚度為7~15nm。

4.根據權利要求1所述的一種多步沉積的高效晶硅異質結太陽能電池結構，其特征在于:所述TCO導電膜（8）厚度為70~110nm。

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