[實用新型]一種籽晶桿的可調式穩定裝置

有效

• 申請號: 201822087569.2
• 申請日: 2018-12-13
• 公開（公告）號: CN209260255U
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發明（設計）人: 姜劍;孫聶楓;孫同年;史艷磊;王書杰
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: C30B15/30
• 分類號: C30B15/30
• 代理公司: 石家莊眾志華清知識產權事務所(特殊普通合伙) 13123
• 代理人: 王苑祥

1.一種籽晶桿的可調式穩定裝置，套裝于晶體生長爐內的籽晶桿（1）上，其特征在于：包括套裝在籽晶桿（1）上的脹緊套（2），脹緊套（2）外周面上均布有3-6根螺桿（8），每個螺桿（8）上螺紋連接有旋套（5），旋套（5）的頂端設置有滾珠（6），滾珠（6）與圓筒形爐腔內壁接觸形成籽晶桿（1）的支撐、穩定結構。

2.根據權利要求1所述的籽晶桿的可調式穩定裝置，其特征在于：所述螺桿（8）上螺紋連接有反鎖螺母（4），反鎖螺母（4）抵在旋套（5）的內側、靠近脹緊套（2）端。

3.根據權利要求1所述的籽晶桿的可調式穩定裝置，其特征在于：各螺桿（8）在脹緊套（2）上的軸向位置位于同一平面上。

4.根據權利要求1所述的籽晶桿的可調式穩定裝置，其特征在于：所述可調式穩定裝置在籽晶桿上設置有1-3組，各組的脹緊套（2）上均具有鎖緊螺栓（3）。

5.根據權利要求1所述的籽晶桿的可調式穩定裝置，其特征在于：所述旋套（5）包括主套（51）和限位套（52），主套（51）為三段復合式結構，包括中間隔擋段和兩端的中空段，兩中空段一端空腔加工有內螺紋，另一端空腔內具有與滾珠（6）適配的球碗（54），限位套內側與主套固定，帶滾珠的外側，限位套（52）固定在外壁上，滾珠（6）前端伸出限位套（52）具有萬向旋轉自由度。

6.根據權利要求5所述的籽晶桿的可調式穩定裝置，其特征在于：所述球碗（54）與中間隔擋段之間設置有壓簧（53）。

7.根據權利要求1所述的籽晶桿的可調式穩定裝置，其特征在于：所述爐腔內壁光滑，平整度誤差小于0.05mm。

8.根據權利要求1所述的籽晶桿的可調式穩定裝置，其特征在于：所述螺桿（8）固定在套筒上，套筒套裝在脹緊套（2）上。

9.根據權利要求1-8任一項所述的籽晶桿的可調式穩定裝置，其特征在于：所述螺桿（8）外周面上具有凹于螺紋面的平面，平面的寬度小于螺桿（8）直徑的三分之一，平面上具有刻度。

10.根據權利要求9所述的籽晶桿的可調式穩定裝置，其特征在于：所述籽晶桿（1）、脹緊套（2）、鎖緊螺栓（3）、螺桿（8）、旋套（5）、滾珠（6）及反鎖螺母（4）為金屬材質。