[實用新型]研磨頭清洗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822081238.8
• 申請日: 2018-12-12
• 公開（公告）號: CN209425253U
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃匯豐;蔣德念;趙振偉
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: B24B53/017
• 分類號: B24B53/017
• 代理公司: 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 欒美潔

1.一種研磨頭清洗裝置，其特征在于，包括支架、清洗刷、噴水桿、伸縮驅(qū)動裝置和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置，所述噴水桿與清洗刷安裝在支架上，所述支架在伸縮驅(qū)動裝置的帶動下沿水平方向運動，所述噴水桿上設(shè)有朝向研磨頭頂面和側(cè)面的外周側(cè)噴嘴，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置帶動研磨頭旋轉(zhuǎn)或者帶動支架旋轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨頭清洗裝置，其特征在于，所述清洗刷包括刷柄和刷頭，所述刷柄的一端安裝有刷頭，另一端與支架固定連接，所述刷頭包括與研磨頭側(cè)面相對應(yīng)的豎直段和與研磨頭上方相對應(yīng)的彎曲段。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨頭清洗裝置，其特征在于，所述清洗刷的刷頭呈倒L型和倒J型。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨頭清洗裝置，其特征在于，所述支架的底部滑動地設(shè)于一導(dǎo)軌內(nèi)，所述噴水桿和清洗刷的刷柄安裝在支架的頂部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨頭清洗裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置為電機，所述電機的輸出軸帶動研磨頭旋轉(zhuǎn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨頭清洗裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置為電機，所述伸縮驅(qū)動裝置和導(dǎo)軌固定安裝在一底座上，所述電機的輸出軸與底座固定連接并帶動底座旋轉(zhuǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨頭清洗裝置，其特征在于，所述伸縮驅(qū)動裝置包括電機和滾珠絲杠副，所述電機的輸出軸與滾珠絲杠副的滾珠絲杠連接，所述滾珠絲杠副的螺母與支架固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨頭清洗裝置，其特征在于，所述伸縮驅(qū)動裝置為氣缸，所述氣缸的活塞桿與支架固定連接，所述氣缸未設(shè)活塞桿的腔室通過一進(jìn)氣管與氣體源相連，且通過一出氣管與真空泵相連。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨頭清洗裝置，其特征在于，所述伸縮驅(qū)動裝置為雙作用液壓缸，所述雙作用液壓缸的活塞桿與支架固定連接，所述雙作用液壓缸通過液壓泵與油箱連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨頭清洗裝置，其特征在于，所述噴水桿設(shè)于清洗刷的刷頭兩側(cè)。

11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨頭清洗裝置，其特征在于，所述噴水桿與清洗刷的刷頭集成在一起，所述噴水桿的外周側(cè)噴嘴位于刷頭的刷毛兩側(cè)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨頭清洗裝置，其特征在于，所述噴水桿與去離子水供水管相連。