[實用新型]一種硅片甩干機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822077977.X
• 申請日: 2018-12-12
• 公開（公告）號: CN209295553U
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 江富琴
• 申請（專利權(quán)）人: 嘉興中谷半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: F26B5/08
• 分類號: F26B5/08;F26B21/14;F26B23/06;F26B25/00
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本實用新型提供一種硅片甩干機，包括機殼，支撐腳，集液箱，驅(qū)動機構(gòu)，氮氣機構(gòu)，甩干筒機構(gòu)，導(dǎo)流板，工控機，電源線，導(dǎo)軌，加熱板，通孔，溫度傳感器和蓋板，本實用新型的氮氣機構(gòu)，集液箱，導(dǎo)流板和溫度傳感器的設(shè)置，通過氮氣機構(gòu)和加熱板等多種形式使硅片周圍溫度升高，提高硅片干燥速度，干燥過程產(chǎn)生的廢液從出水口和出液口流入機殼底部，通過導(dǎo)流板進行聚集，通過管道輸送到集液箱內(nèi)，有效的避免廢液對加工現(xiàn)場的污染，保證周圍環(huán)境的清潔，在溫度傳感器上設(shè)置溫度值，溫度傳感器檢測機殼內(nèi)部溫度，當(dāng)溫度達到設(shè)定值時，會發(fā)出報警提示，提示操作人員及時采取措施，防止溫度過高損壞硅片，提高硅片干燥質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于硅片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片甩干機。

背景技術(shù)

太陽能作為一種清潔能源，正日益得到廣泛的應(yīng)用，硅片是太陽能產(chǎn)業(yè)中最為重要的元件，硅片在生產(chǎn)流程中需要經(jīng)過多道處理工序，以便保證硅片的光電轉(zhuǎn)換效果和光利用率，對硅片表面的制絨就是一種提高硅片光利用率的有效措施，硅片表面的制絨工序是利用硝酸和氫氟酸的混合溶液對硅片表面進行蝕刻，以增加硅片表面的面積，經(jīng)過蝕刻后的硅片還需要依次浸入到水槽、堿槽、水槽內(nèi)，硅片制絨完畢后，需要使硅片表面干燥，以便對硅片進行下道工序作業(yè)，要實現(xiàn)硅片表面的干燥，通行的做法是利用離心式的甩干機對硅片進行甩干。

中國專利公開號為CN 202149675 U，發(fā)明創(chuàng)造的名稱為一種太陽能硅片甩干機，包括殼體和上蓋，殼體內(nèi)具有空腔，在空腔的底部設(shè)有轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤與空腔內(nèi)壁之間具有間隙，轉(zhuǎn)盤上設(shè)有若干固定架，上蓋與殼體之間活動連接，上蓋可覆蓋在空腔的口部，在上蓋內(nèi)表面上設(shè)有朝向所述空腔的立管，立管與水泵相連，立管突出到上蓋內(nèi)表面外側(cè)部分的長度略小于空腔的深度，立管上設(shè)有若干與其內(nèi)部相通的噴口，本甩干機能夠有效提高硅片表面的清潔度，從而能有效提高硅片的光電轉(zhuǎn)換效率。但是現(xiàn)有硅片甩干機采用單一的離心力進行甩干，干燥時間過長，影響硅片生產(chǎn)進度，缺少廢液收集機構(gòu)，干燥過程產(chǎn)生的廢液污染加工現(xiàn)場，造成周圍環(huán)境臟亂，離心甩干過程產(chǎn)生震動，造成甩干機運行不平穩(wěn)的問題。

因此，發(fā)明一種硅片甩干機顯得非常必要。

實用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種硅片甩干機，以解決但是現(xiàn)有硅片甩干機采用單一的離心力進行甩干，干燥時間過長，影響硅片生產(chǎn)進度，缺少廢液收集機構(gòu)，干燥過程產(chǎn)生的廢液污染加工現(xiàn)場，造成周圍環(huán)境臟亂，離心甩干過程產(chǎn)生震動，造成甩干機運行不平穩(wěn)的問題。一種硅片甩干機，包括機殼，支撐腳，集液箱，驅(qū)動機構(gòu)，氮氣機構(gòu)，甩干筒機構(gòu)，導(dǎo)流板，工控機，電源線，導(dǎo)軌，加熱板，通孔，溫度傳感器和蓋板，所述支撐腳采用四個，通過螺栓固定在機殼的下方四角；所述集液箱通過螺栓固定在支撐腳之間；所述驅(qū)動機構(gòu)通過螺栓固定在集液箱的上方，上端貫穿至機殼的內(nèi)部；所述工控機通過螺栓固定在支撐腳右側(cè)的上方；所述電源線嵌裝在工控機的下方，通過導(dǎo)線與工控機相連；所述導(dǎo)軌采用兩個，焊接在機殼內(nèi)部的兩側(cè)；所述甩干筒機構(gòu)設(shè)置在機殼的內(nèi)部，兩側(cè)卡接在導(dǎo)軌上，下端通過軸承與傳動軸相連；所述加熱板采用多個，通過螺栓固定在機殼的內(nèi)部，位于導(dǎo)軌的上方，通過導(dǎo)線與工控機相連；所述溫度傳感器通過螺栓固定在機殼內(nèi)部上端的右側(cè)，通過導(dǎo)線與工控機相連；所述通孔開設(shè)在機殼上端的左側(cè)，內(nèi)壁設(shè)置有螺紋；所述蓋板通過螺栓固定在通孔上，上端設(shè)置有把手；所述氮氣機構(gòu)通過螺栓固定在機殼上方的右側(cè)，下端貫穿至機殼的內(nèi)部；所述導(dǎo)流板焊接在機殼內(nèi)部的下方，位于甩干筒機構(gòu)的下方。

所述驅(qū)動機構(gòu)包括伺服電機，減震墊和傳動軸，所述減震墊通過螺栓固定在集液箱的上方；所述伺服電機通過螺栓固定在減震墊的上方；所述傳動軸通過聯(lián)軸器與伺服電機的輸出端相連，上端貫穿至機殼的內(nèi)部。