[實(shí)用新型]一種夾持機(jī)構(gòu)及半導(dǎo)體加工設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822075836.4
• 申請日: 2018-12-11
• 公開（公告）號: CN208954967U
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陶國勝;賈智信;喬貴洲;王金華;饒潞
• 申請（專利權(quán)）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 張海英

1.一種夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

轉(zhuǎn)盤(1)，所述轉(zhuǎn)盤(1)被配置為能夠繞自身中心轉(zhuǎn)動(dòng)；

多個(gè)固定座(2)，多個(gè)所述固定座(2)設(shè)置于所述轉(zhuǎn)盤(1)上，用于支撐工件(4)；

壓塊(3)，每個(gè)所述固定座(2)遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)盤(1)的中心的一側(cè)均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有一個(gè)所述壓塊(3)，所述壓塊(3)被配置為當(dāng)所述轉(zhuǎn)盤(1)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述壓塊(3)的下端抬起，以使所述壓塊(3)的上端抵接于所述工件(4)的邊緣；及

配重塊(5)，可拆卸設(shè)置于所述壓塊(3)的下端，且每個(gè)所述壓塊(3)上的所述配重塊(5)的重量可調(diào)。

2.如權(quán)利要求1所述的夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，每個(gè)所述壓塊(3)上設(shè)置的所述配重塊(5)的數(shù)量可調(diào)。

3.如權(quán)利要求1所述的夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述配重塊(5)與所述壓塊(3)卡接或螺紋連接。

4.如權(quán)利要求1所述的夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述固定座(2)的頂部凸設(shè)有頂柱(21)，所述頂柱(21)用于支撐所述工件(4)。

5.如權(quán)利要求4所述的夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述頂柱(21)的頂面設(shè)置有第一彈性層。

6.如權(quán)利要求1所述的夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述壓塊(3)的上端朝向所述工件(4)的表面設(shè)置有第二彈性層。

7.如權(quán)利要求6所述的夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第二彈性層由橡膠或硅膠制成。

8.如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)盤(1)包括：

中心板(12)；

環(huán)形框架(11)，所述環(huán)形框架(11)與所述中心板(12)同心設(shè)置，多個(gè)所述固定座(2)均勻間隔設(shè)置于所述環(huán)形框架(11)上；及

多個(gè)連接筋(13)，所述連接筋(13)連接所述中心板(12)和所述環(huán)形框架(11)。

9.如權(quán)利要求8所述的夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述連接筋(13)上設(shè)置有支撐柱(14)，所述支撐柱(14)的頂面為球面。

10.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)用于夾持固定待加工的工件(4)。