[實用新型]一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數量的系統

有效

• 申請號: 201822074120.2
• 申請日: 2018-12-11
• 公開（公告）號: CN209166818U
• 公開（公告）日: 2019-07-26
• 發明（設計）人: 靳毅;王叢嶺;孫圍華;宋敏;劉繪生;余健;蔣丹
• 申請（專利權）人: 九川真空科技成都有限公司;電子科技大學
• 主分類號: G01M13/003
• 分類號: G01M13/003;G01N15/10
• 代理公司: 成都嘉企源知識產權代理有限公司 51246
• 代理人: 胡林

1.一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數量的系統，其特征在于：包括真空裝置、待測閥門、待測閥門驅動裝置、氣體通入裝置和粒子計數器，所述真空裝置包括腔體和抽真空裝置，腔體至少連接有三根管路，一根為氣體通入管路，一根為出口管路，最后一根為抽真空管路，抽真空管路連接抽真空裝置，氣體通入管路連接氣體通入裝置，出口管路連接粒子計數器，氣體通入裝置通過支管路與粒子計數器相連，待測閥門驅動裝置與待測閥門相連，待測閥門驅動裝置驅動待測閥門開啟和關閉，待測閥門放置在腔體內，所述氣體通入管路、出口管路、抽真空管路和支管路上均安裝有閥門。

2.根據權利要求1所述的一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數量的系統，其特征在于：所述出口管路上還安裝有高壓擴散器。

3.根據權利要求1所述的一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數量的系統，其特征在于：所述氣體通入裝置包括空壓機、干燥器、過濾器、減壓閥和氣體流量計，空壓機與干燥器相連，干燥器與過濾器相連，過濾器與減壓閥相連，減壓閥與氣體流量計相連，氣體流量計與腔體相連。

4.根據權利要求1所述的一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數量的系統，其特征在于：所述腔體包括底板、固定夾板法蘭、活動夾板法蘭、定位塊和活動夾緊裝置，固定夾板法蘭和活動夾板法蘭安裝在底板上，固定夾板法蘭和活動夾板法蘭緊靠在待測閥門的正反兩面，定位塊和活動夾緊裝置安裝在底板上，定位塊和活動夾緊裝置緊靠在待測閥門的兩側面，固定夾板法蘭和活動夾板法蘭上均設置有內凹槽和通氣孔，通氣孔與內凹槽相連通，待測閥門的通槽與固定夾板法蘭和活動夾板法蘭上的內凹槽形成空腔。

5.根據權利要求4所述的一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數量的系統，其特征在于：所述固定夾板法蘭與待測閥門的相接處，所述活動夾板法蘭與待測閥門的相接處均采用密封圈密封。

6.根據權利要求4所述的一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數量的系統，其特征在于：所述底板銑出L形凸臺，所述固定夾板法蘭緊靠在L形凸臺上，為待測閥門提供正反面的安裝基準，所述定位塊緊靠在L形凸臺上，為待測閥門提供側面安裝基準。

7.根據權利要求4所述的一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數量的系統，其特征在于：所述固定夾板法蘭與待測閥門，活動夾板法蘭與待測閥門的側面通過卡鉗螺栓固緊。

8.根據權利要求4所述的一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數量的系統，其特征在于：所述活動夾緊裝置包括L形板、移動板和移動螺栓，L形板通過定位銷和螺栓固定在底板上，移動板連接在移動螺栓上，移動螺栓穿過L形板，與L形板螺接。

9.根據權利要求1所述的一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數量的系統，其特征在于：所述腔體包括基板、閥頭定位板、閥尾定位板、進氣法蘭管、出氣法蘭管和待測閥門，進氣法蘭管和出氣法蘭管分別安裝在待測閥門兩端，待測閥門與進氣法蘭管之間密封連接，待測閥門與出氣法蘭管之間密封連接，閥頭定位板和閥尾定位板安裝在基板上，待測閥門卡在閥頭定位板和閥尾定位板內。

10.根據權利要求9所述的一種檢測閥門工作過程中粒子脫落數量的系統，其特征在于：所述進氣法蘭管和出氣法蘭管為變徑法蘭管，所述進氣法蘭管的大端連接在待測閥門上，所述出氣法蘭管的大端連接在待測閥門上。