[實用新型]一種動態(tài)調整溫場中溫度梯度的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822068289.7
• 申請日: 2018-12-11
• 公開（公告）號: CN209276673U
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發(fā)明（設計）人: 丁言國;徐悟生;葉崇志;丁祖兵;陳凱
• 申請（專利權）人: 上海新漫晶體材料科技有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種動態(tài)調整溫場中溫度梯度的裝置，其特征在于，包括爐膛壁、籽晶連接桿、溫場、溫場上蓋；所述的溫場設置在爐膛壁的中間位置；在所述的溫場的上方設置所述的溫場上蓋；在所述的溫場上蓋的上方設置第一蓋板驅動裝置和第二蓋板驅動裝置；所述的第一蓋板驅動裝置和第二蓋板驅動裝置設置在籽晶連接桿的兩側。

2.如權利要求1所述的一種動態(tài)調整溫場中溫度梯度的裝置，其特征在于，所述的第一蓋板、第二蓋板的材質為氧化鋯，第一蓋板、第二蓋板水平放置在溫場上蓋上，通過移動第一連接桿、第二連接桿，使第一蓋板、第二蓋板形成閉合的圓環(huán)，第一蓋板、第二蓋板的內徑比籽晶連接桿外徑大2～50mm，第一蓋板、第二蓋板的外徑比溫場上蓋的內徑大10～100mm，第一蓋板、第二蓋板的厚度為5～50mm。

3.如權利要求1所述的一種動態(tài)調整溫場中溫度梯度的裝置，其特征在于，所述的第一蓋板驅動裝置還包括第一連接桿、第一蓋板、第一波紋管、第一真空接頭；第一蓋板與第一連接桿連接固定在一起，第一連接桿貫穿第一爐膛壁孔與第一波紋管和第一真空接頭連接固定在爐膛壁上。

4.如權利要求1所述的一種動態(tài)調整溫場中溫度梯度的裝置，其特征在于，所述的第二蓋板驅動裝置還包括第二連接桿、第二蓋板、第二波紋管、第二真空接頭；第二蓋板與第二連接桿連接固定在一起，第二連接桿貫穿第二爐膛壁孔與第二波紋管和第二真空接頭連接固定在爐膛壁上。

5.如權利要求2所述的一種動態(tài)調整溫場中溫度梯度的裝置，其特征在于，所述的第一連接桿、第二連接桿的材質為氧化鋁陶瓷，第一連接桿、第二連接桿的外徑為5～50mm。

6.如權利要求2所述的一種動態(tài)調整溫場中溫度梯度的裝置，其特征在于，所述的第一連接桿、第二連接桿分別與第一真空接頭、第二真空接頭以及第一波紋管、第二波紋管組裝、密封并固定在第一爐膛壁孔和第二爐膛壁孔上；第一波紋管、第二波紋管的材質為不銹鋼波紋管。

7.如權利要求1所述的一種動態(tài)調整溫場中溫度梯度的裝置，其特征在于，所述的第一爐膛壁孔和第二爐膛壁孔分別對稱設置在爐膛壁上。