[實(shí)用新型]一種柔性基材磁控濺射鍍膜設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822068265.1
• 申請(qǐng)日: 2018-12-11
• 公開（公告）號(hào): CN209276622U
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龍志光
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市超為龍科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
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本實(shí)用新型公開了一種柔性基材磁控濺射鍍膜設(shè)備，包括工作機(jī)箱、推拉把手、觀測(cè)窗、密封門、鍍膜裝置、鍍膜倉、控制箱、置物臺(tái)、行進(jìn)軌道，工作機(jī)箱箱體上端面安裝有鍍膜裝置、鍍膜倉和控制箱，鍍膜裝置與鍍膜倉為電連接且為前后設(shè)置安裝，鍍膜倉左側(cè)電連接安裝有控制箱，鍍膜倉前端安裝有行進(jìn)軌道，密封門安裝在行進(jìn)軌道上，兩個(gè)觀測(cè)窗上下設(shè)置安裝在密封門門板上，密封門左側(cè)焊接有推拉把手，置物臺(tái)安裝在鍍膜倉底端中心位置，一種柔性基材磁控濺射鍍膜設(shè)備，本裝置設(shè)計(jì)為鍍膜設(shè)備，本裝置設(shè)計(jì)為軌道推拉式的密封門，操作方便，安全性好，置物臺(tái)為圓型設(shè)計(jì)，便于安裝待鍍膜材料，且置物臺(tái)的安裝立柱可以根據(jù)需求進(jìn)行位置和數(shù)量的調(diào)整。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及鍍膜領(lǐng)域，特別是一種柔性基材磁控濺射鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)

磁控濺射是物理氣相沉積的一種，一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料，且具有設(shè)備簡(jiǎn)單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場(chǎng)，利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種柔性基材磁控濺射鍍膜設(shè)備。為實(shí)現(xiàn)上述目的本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種柔性基材磁控濺射鍍膜設(shè)備，包括工作機(jī)箱、推拉把手、觀測(cè)窗、密封門、鍍膜裝置、鍍膜倉、控制箱、置物臺(tái)、行進(jìn)軌道，工作機(jī)箱箱體上端面安裝有鍍膜裝置、鍍膜倉和控制箱，鍍膜裝置與鍍膜倉為電連接且為前后設(shè)置安裝，鍍膜倉左側(cè)電連接安裝有控制箱，鍍膜倉前端安裝有行進(jìn)軌道，密封門安裝在行進(jìn)軌道上，兩個(gè)觀測(cè)窗上下設(shè)置安裝在密封門門板上，密封門左側(cè)焊接有推拉把手，置物臺(tái)安裝在鍍膜倉底端中心位置。

優(yōu)選的，所述置物臺(tái)由安裝盤、安裝立柱和安裝臺(tái)組成，兩個(gè)安裝盤通過中心位置的轉(zhuǎn)軸安裝固定，四個(gè)安裝臺(tái)均勻布置在底部的安裝盤上，安裝立柱安裝在安裝臺(tái)上實(shí)現(xiàn)固定安裝。

優(yōu)選的，所述安裝立柱底端設(shè)置由安裝槽，安裝臺(tái)由安裝圓臺(tái)和復(fù)位彈簧組成，復(fù)位彈簧安裝在安裝圓臺(tái)的桿體上，安裝槽與安裝圓臺(tái)的轉(zhuǎn)軸對(duì)應(yīng)設(shè)置，安裝時(shí)安裝立柱通過安裝槽固定安裝在安裝圓臺(tái)上，松開安裝立柱，復(fù)位彈簧將安裝立柱頂起，實(shí)現(xiàn)了安裝立柱的固定安裝。

優(yōu)選的，所述行進(jìn)軌道的軌道末端安裝了限位塊，避免了密封門因誤操作滑出軌道。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：一種柔性基材磁控濺射鍍膜設(shè)備，本裝置設(shè)計(jì)為鍍膜設(shè)備，本裝置設(shè)計(jì)為軌道推拉式的密封門，操作方便，安全性好，置物臺(tái)為圓型設(shè)計(jì)，便于安裝待鍍膜材料，且置物臺(tái)的安裝立柱可以根據(jù)需求進(jìn)行位置和數(shù)量的調(diào)整。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型柔性基材磁控濺射鍍膜設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型密封門的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型置物臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本實(shí)用新型安裝臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為本實(shí)用新型行進(jìn)軌道的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、工作機(jī)箱，2、推拉把手，3、觀測(cè)窗，4、密封門，5、鍍膜裝置，6、鍍膜倉，7、控制箱，8、置物臺(tái)，9、行進(jìn)軌道，10、安裝盤，11、安裝立柱，12、安裝臺(tái)，13、安裝槽，14、安裝圓臺(tái)，15、復(fù)位彈簧。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)闡述。