[實用新型]機械手臂

有效

• 申請號: 201822060140.4
• 申請日: 2018-12-07
• 公開（公告）號: CN208954958U
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 朱小凡;張文福;劉家樺;葉日銓
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/687
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤;陳麗麗

1.一種機械手臂，其特征在于，包括驅動器、控制器、承載臂和壓力傳感器；其中：

所述承載臂包括相對分布的第一末端和第二末端，所述驅動器與所述第一末端連接，用于驅動所述承載臂做直線運動；

所述壓力傳感器設置于所述承載臂的運動方向上、并與所述第二末端相對，用于檢測所述第二末端施加于其上的壓力；

所述控制器連接所述驅動器與所述壓力傳感器，用于判斷所述壓力傳感器檢測到的實際壓力是否等于參考壓力，若是，則獲取所述承載臂當前運動的實際距離，并以所述實際距離和參考距離之間的差值作為所述承載臂運動的補償值。

2.根據權利要求1所述的機械手臂，其特征在于，所述機械手臂還包括能夠沿豎直方向升降運動的基座以及設置于所述基座頂部的支撐臺；所述承載臂的所述第一末端與所述支撐臺連接；所述驅動器包括與所述支撐臺連接的第一驅動器，用于驅動所述支撐臺沿第一水平方向運動；所述壓力傳感器包括設置于所述第一水平方向上的第一壓力傳感器。

3.根據權利要求2所述的機械手臂，其特征在于，所述機械手臂還包括軌道；所述基座的底部與所述軌道連接；所述驅動器還包括與所述基座連接的第二驅動器，用于驅動所述基座沿與所述第一水平方向垂直的第二水平方向運動；所述壓力傳感器還包括設置于所述第二水平方向上的第二壓力傳感器。

4.根據權利要求3所述的機械手臂，其特征在于，所述機械手臂還包括位于所述基座與所述支撐臺之間的旋轉臺；所述驅動器還包括與所述旋轉臺連接的第三驅動器，用于驅動所述旋轉臺圍繞其軸線自轉。

5.根據權利要求4所述的機械手臂，其特征在于，所述承載臂包括相互平行設置的兩個承載臂，兩個所述承載臂之間具有一間隙。

6.根據權利要求3所述的機械手臂，其特征在于，所述第一驅動器與所述第二驅動器均為伺服馬達。

7.根據權利要求6所述的機械手臂，其特征在于，所述參考壓力為所述伺服馬達的額定負載力的三分之一。