[實用新型]一種半導體測試裝置

有效

• 申請號: 201822056871.1
• 申請日: 2018-12-10
• 公開（公告）號: CN209264549U
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發明（設計）人: 廖禮
• 申請（專利權）人: 深圳市特瑞鍶自動化設備有限公司
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種半導體測試裝置，包括機體和樣品臺，所述機體上設置有起偏器、檢偏器、支撐腳、傳動螺母、軸孔與調節螺絲，所述起偏器通過螺絲安裝固定于機體上方左側，所述檢偏器通過螺絲安裝固定于機體上方右側，所述支撐腳通過螺紋連接于機體底部邊角上，所述傳動螺母通過軸承過盈連接于機體前端頂部中間，所述軸孔開設于機體前端頂部，且軸孔分布于傳動螺母兩側，所述調節螺絲通過螺紋連接于機體前端頂部，且調節螺絲分布于軸孔兩側，所述樣品臺放置于起偏器與檢偏器之間。本實用新型可輕松對樣品臺的位置、角度進行調節，避免調節起偏器與檢偏器，而浪費測試時間。

技術領域

本實用新型涉及一種半導體測試裝置，屬于半導體測試技術領域。

背景技術

半導體測試裝置（橢偏儀）是一種用于探測半導體薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器；目前橢偏儀在進行使用時需要對起偏器與檢偏器的位置進行調節，嚴重影響半導體的測試時間。為解決上述問題，特提供一種新的技術方案。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種半導體測試裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的本實用新型采用以下技術方案：一種半導體測試裝置，包括機體和樣品臺，所述機體上設置有起偏器、檢偏器、支撐腳、傳動螺母、軸孔與調節螺絲，所述起偏器通過螺絲安裝固定于機體上方左側，所述檢偏器通過螺絲安裝固定于機體上方右側，所述支撐腳通過螺紋連接于機體底部邊角上，所述傳動螺母通過軸承過盈連接于機體前端頂部中間，所述軸孔開設于機體前端頂部，且軸孔分布于傳動螺母兩側，所述調節螺絲通過螺紋連接于機體前端頂部，且調節螺絲分布于軸孔兩側，所述樣品臺放置于起偏器與檢偏器之間。

優選的，所述樣品臺上設置有中吊耳與側吊耳，所述中吊耳焊接于樣品臺底部中間，所述側吊耳對稱焊接于樣品臺底部兩側。

優選的，所述中吊耳上通過轉軸連接有傳動螺桿，所述傳動螺桿與傳動螺母螺紋連接。

優選的，所述側吊耳上通過轉軸連接有光軸，所述光軸嵌套于軸孔內，光軸底部通過轉軸連接有底板，所述底板頂部兩側與機體底部之間焊接有彈簧。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型傳動螺桿與傳動螺母螺紋連接，可通過傳動螺母輕松帶動樣品臺直線上升或下降；底板頂部兩側與機體底部之間焊接有彈簧，可通過彈簧使底板時刻保持平衡；調節螺絲通過螺紋連接于機體前端頂部，可通過調節螺絲輕松對底板進行左右按壓。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型機體結構示意圖；

圖3為本實用新型樣品臺結構示意圖；

圖中：1-機體；2-樣品臺；3-起偏器；4-檢偏器；5-支撐腳；6-傳動螺母；7-軸孔；8-調節螺絲；9-中吊耳；10-側吊耳；11-傳動螺桿；12-光軸；13-底板；14-彈簧。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整的闡述。

如圖1-3所示，一種半導體測試裝置，包括機體1和樣品臺2，機體1上設置有起偏器3、檢偏器4、支撐腳5、傳動螺母6、軸孔7與調節螺絲8，起偏器3通過螺絲安裝固定于機體1上方左側，檢偏器4通過螺絲安裝固定于機體1上方右側，支撐腳5通過螺紋連接于機體1底部邊角上，傳動螺母6通過軸承過盈連接于機體1前端頂部中間，軸孔7開設于機體1前端頂部，且軸孔7分布于傳動螺母6兩側，調節螺絲8通過螺紋連接于機體1前端頂部，且調節螺絲8分布于軸孔7兩側，樣品臺2放置于起偏器3與檢偏器4之間。