[實(shí)用新型]一種帶有自修正功能的石英晶體片研磨機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822053269.2
• 申請(qǐng)日: 2018-12-07
• 公開（公告）號(hào): CN209335379U
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊合如;姚曉文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廊坊中電熊貓晶體科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/08
• 分類號(hào): B24B37/08
• 代理公司: 南京君陶專利商標(biāo)代理有限公司 32215
• 代理人: 沈根水

本實(shí)用新型提出的是一種帶有自修正功能的石英晶體片研磨機(jī)，其結(jié)構(gòu)包括工作臺(tái)、上研磨盤、下研磨盤、立柱、控制面板；其中下研磨盤的中心設(shè)有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸安裝于工作臺(tái)的上表面中心，立柱呈倒L型，其底部設(shè)于工作臺(tái)的上表面一側(cè)，其頂部通過氣缸連接上研磨盤的轉(zhuǎn)軸，控制面板設(shè)置于工作臺(tái)的上表面另一側(cè)；上研磨盤與下研磨盤的轉(zhuǎn)軸同軸。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：通過中心齒圈和外齒圈共同驅(qū)動(dòng)游星輪公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，并采用上研磨盤和下研磨盤同時(shí)對(duì)石英晶體片研磨，效率較高；在研磨過程中自適應(yīng)修整研磨盤，充分保證研磨盤的平整度，具有設(shè)計(jì)科學(xué)、實(shí)用性強(qiáng)、使用方便、修盤高效等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及的是一種帶有自修正功能的石英晶體片研磨機(jī)，屬于石英晶體片加工技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

石英晶體片不但是較好的光學(xué)材料，而且是重要的壓電材料，在加工過程中需要對(duì)石英晶體片的表面進(jìn)行研磨拋光處理，在對(duì)石英晶體片進(jìn)行研磨拋光處理時(shí)，通常需要用到研磨機(jī)。現(xiàn)有的研磨機(jī)一般采用單面研磨和雙面研磨兩種方式來對(duì)石英晶體片表面進(jìn)行研磨處理，但單面研磨速度慢，效率低；雙面研磨方式將石英晶體片的正反兩面同時(shí)進(jìn)行研磨處理，雖然能大大提高研磨效率，但是研磨盤經(jīng)過石英晶體片長時(shí)間研磨后，容易造成表面不平整，此時(shí)需要將游星輪換下，放入修正輪對(duì)研磨盤進(jìn)行修整，在進(jìn)行大批量生產(chǎn)時(shí)，對(duì)研磨盤的磨耗也相應(yīng)增大，需要頻繁對(duì)研磨盤進(jìn)行修整，導(dǎo)致生產(chǎn)效率降低、成本增加。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型提出的是一種帶有自修正功能的石英晶體片研磨機(jī)，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，使用方便，成本較低，可靈活調(diào)節(jié)，能有效彌補(bǔ)因研磨盤平面度降低，導(dǎo)致研磨質(zhì)量降低問題的可調(diào)節(jié)石英晶體片研磨平整度的修正工藝。本實(shí)用新型在基于現(xiàn)有工藝的基礎(chǔ)上對(duì)研磨盤盤平控制以實(shí)現(xiàn)高水平的提升，使用方便，實(shí)用性強(qiáng)，必要時(shí)可結(jié)合采用修正輪修正研磨盤工藝方法。

本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案：一種帶有自修正功能的石英晶體片研磨機(jī)，其結(jié)構(gòu)包括工作臺(tái)1、上研磨盤2、下研磨盤3、立柱7、控制面板8；其中下研磨盤3的中心設(shè)有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸安裝于工作臺(tái)1的上表面中心，立柱7呈倒L型，其底部設(shè)于工作臺(tái)1的上表面一側(cè)，其頂部通過氣缸連接上研磨盤2的轉(zhuǎn)軸，控制面板8設(shè)置于工作臺(tái)1的上表面另一側(cè)；上研磨盤2與下研磨盤3的轉(zhuǎn)軸同軸。

優(yōu)選的，所述的下研磨盤3的上表面包括外齒圈4、中心齒圈5、游星輪6；其中中心齒圈5設(shè)于下研磨盤3的旋轉(zhuǎn)中心，外齒圈4設(shè)于下研磨盤3的外沿，中心齒圈5和外齒圈4的旋轉(zhuǎn)軸同軸，中心齒圈5與外齒圈4之間等距地設(shè)有5個(gè)尺寸相同的游星輪6，每個(gè)游星輪6與中心齒圈5的外側(cè)和外齒圈4的內(nèi)側(cè)緊密嚙合。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：通過設(shè)置中心齒圈和外齒圈，共同驅(qū)動(dòng)游星輪公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，并采用上研磨盤和下研磨盤同時(shí)對(duì)石英晶體片研磨，效率較高；此外通過調(diào)整副機(jī)轉(zhuǎn)速切換圈數(shù)達(dá)到在研磨過程中自適應(yīng)修整研磨盤，充分保證研磨盤的平整度，具有設(shè)計(jì)科學(xué)、實(shí)用性強(qiáng)、使用方便、修盤高效等優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

附圖1是帶有自修正功能的石英晶體片研磨機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖2是上、下研磨盤、中心齒圈、外齒圈嚙合結(jié)構(gòu)剖面圖。

附圖3-1、3-2是游星輪正轉(zhuǎn)、逆轉(zhuǎn)俯視示意圖。

附圖4-1、4-2、4-3是游星輪正轉(zhuǎn)、逆轉(zhuǎn)工作狀態(tài)下上下研磨盤內(nèi)側(cè)變形示意圖，其中圖4-1是工作前形狀示意圖，圖4-2是游星輪正轉(zhuǎn)工作形狀示意圖，圖4-3是游星輪逆轉(zhuǎn)工作形狀示意圖。

圖中1是工作臺(tái)、2是上研磨盤、3是下研磨盤、4是外齒圈、5是中心齒圈、6是游星輪、7是立柱、8是控制面板。

具體實(shí)施方式