[實(shí)用新型]一種雙臺(tái)面激光直寫式曝光機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822049628.7
• 申請(qǐng)日: 2018-12-07
• 公開（公告）號(hào): CN208969430U
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張雷;李偉成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州源卓光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 蘇州國(guó)誠(chéng)專利代理有限公司 32293
• 代理人: 陳松

本實(shí)用新型提供了一種雙臺(tái)面激光直寫式曝光機(jī)，提升了設(shè)備利用率,減少了設(shè)備各系統(tǒng)的工作的空閑時(shí)間,從而有效提升了曝光機(jī)的產(chǎn)能，包括底座和通過(guò)龍門機(jī)構(gòu)順序設(shè)置在底座上的對(duì)位機(jī)構(gòu)、曝光機(jī)構(gòu)，在底座上設(shè)置有兩個(gè)步進(jìn)軸運(yùn)動(dòng)組件，兩個(gè)步進(jìn)軸運(yùn)動(dòng)組件一上一下相互錯(cuò)開設(shè)置成兩層，步進(jìn)軸運(yùn)動(dòng)組件連接有基板承載臺(tái)面用于承載基板，步進(jìn)軸運(yùn)動(dòng)組件能夠帶動(dòng)基板承載臺(tái)面前后移動(dòng)經(jīng)過(guò)對(duì)位機(jī)構(gòu)、曝光機(jī)構(gòu)進(jìn)行對(duì)位和曝光；對(duì)位機(jī)構(gòu)包括安裝在龍門機(jī)構(gòu)上的對(duì)位軸運(yùn)動(dòng)組件、第一Z軸運(yùn)動(dòng)組件、對(duì)位系統(tǒng)，曝光機(jī)構(gòu)包括安裝在龍門機(jī)構(gòu)上的掃描軸運(yùn)動(dòng)組件、第二Z軸運(yùn)動(dòng)組件、曝光系統(tǒng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及激光直寫式曝光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種雙臺(tái)面激光直寫式曝光機(jī)。

背景技術(shù)

激光直寫式曝光是用于在襯底表面上印刷具有特征的構(gòu)圖，相比于傳統(tǒng)的掩膜版和菲林底片等曝光的影像直接轉(zhuǎn)移技術(shù)，直寫式曝光技術(shù)產(chǎn)能高，對(duì)位精度高。在半導(dǎo)體及PCB生產(chǎn)領(lǐng)域有著非常重要的作用。

目前市場(chǎng)上直寫曝光多以單臺(tái)面曝光機(jī)為主?，F(xiàn)有的單臺(tái)面曝光機(jī)的產(chǎn)能較低，生產(chǎn)周期長(zhǎng)，每一片基板的曝光需要完成上板，對(duì)準(zhǔn)，曝光，下板等工序，整個(gè)流程時(shí)間較長(zhǎng)。而曝光產(chǎn)能又是客戶需求的一項(xiàng)重要指標(biāo)，提高直寫曝光機(jī)的產(chǎn)能非常有必要。

也有如公開號(hào)為CN206379120U的中國(guó)實(shí)用新型專利中公開的一種搭配兩套R(shí)TR裝置的雙臺(tái)面直寫曝光機(jī)，然而其設(shè)計(jì)的雙臺(tái)面設(shè)備的寬度較寬，雙臺(tái)面并行設(shè)置，設(shè)備所需的場(chǎng)地空間大。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種雙臺(tái)面激光直寫式曝光機(jī)，提升了設(shè)備利用率,減少了設(shè)備各系統(tǒng)的工作的空閑時(shí)間,從而有效提升了曝光機(jī)的產(chǎn)能。

其技術(shù)方案是這樣的：一種雙臺(tái)面激光直寫式曝光機(jī)，包括底座和通過(guò)龍門機(jī)構(gòu)順序設(shè)置在所述底座上的對(duì)位機(jī)構(gòu)、曝光機(jī)構(gòu)，其特征在于：在所述底座上設(shè)置有兩個(gè)步進(jìn)軸運(yùn)動(dòng)組件，兩個(gè)所述步進(jìn)軸運(yùn)動(dòng)組件一上一下相互錯(cuò)開設(shè)置成兩層，所述步進(jìn)軸運(yùn)動(dòng)組件上分別安裝有基板承載臺(tái)面，所述基板承載臺(tái)面用于承載基板，所述步進(jìn)軸運(yùn)動(dòng)組件分別能夠帶動(dòng)所述基板承載臺(tái)面前后移動(dòng)經(jīng)過(guò)所述對(duì)位機(jī)構(gòu)、曝光機(jī)構(gòu)；

所述對(duì)位機(jī)構(gòu)包括安裝在龍門機(jī)構(gòu)上的對(duì)位軸運(yùn)動(dòng)組件，所述對(duì)位軸運(yùn)動(dòng)組件包括滑塊和直線導(dǎo)軌，滑塊通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)沿所述直線導(dǎo)軌移動(dòng)，所述滑塊上設(shè)置有第一Z軸運(yùn)動(dòng)組件，所述第一Z軸運(yùn)動(dòng)組件上設(shè)有對(duì)位系統(tǒng)，所述滑塊能夠帶動(dòng)所述對(duì)位系統(tǒng)沿所述直線導(dǎo)軌移動(dòng)，所述第一Z軸運(yùn)動(dòng)組件能夠帶動(dòng)所述對(duì)位系統(tǒng)上下移動(dòng)使得焦面對(duì)準(zhǔn)；

所述曝光機(jī)構(gòu)包括安裝在所述龍門機(jī)構(gòu)上的掃描軸運(yùn)動(dòng)組件，所述掃描軸運(yùn)動(dòng)組件包括滑塊和直線導(dǎo)軌，滑塊通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)沿所述直線導(dǎo)軌移動(dòng)，所述滑塊上設(shè)置有第二Z軸運(yùn)動(dòng)組件，所述第二Z軸運(yùn)動(dòng)組件上設(shè)有曝光系統(tǒng)，所述滑塊能夠帶動(dòng)所述曝光系統(tǒng)沿所述直線導(dǎo)軌移動(dòng)，所述第二Z軸運(yùn)動(dòng)組件能夠帶動(dòng)所述曝光系統(tǒng)上下移動(dòng)使得曝光焦面對(duì)準(zhǔn)。

進(jìn)一步的，所述龍門機(jī)構(gòu)包括分別設(shè)置在所述底座兩側(cè)的龍門立柱，所述龍門立柱的上端設(shè)置有安裝龍門。

進(jìn)一步的，所述對(duì)位機(jī)構(gòu)、曝光機(jī)構(gòu)分別在順序設(shè)置在兩個(gè)龍門機(jī)構(gòu)上。

進(jìn)一步的，兩個(gè)所述步進(jìn)軸運(yùn)動(dòng)組件、對(duì)位軸運(yùn)動(dòng)組件、掃描軸運(yùn)動(dòng)組件、第一Z軸運(yùn)動(dòng)組件、第二Z軸運(yùn)動(dòng)組件分別與運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)電控連接。

進(jìn)一步的，所述曝光系統(tǒng)包括曝光鏡頭，所述對(duì)位系統(tǒng)包括CCD相機(jī)、基準(zhǔn)鏡頭和照明光源。

進(jìn)一步的，所述底座為大理石底座。