[實用新型]一種可分離式掃描探針顯微鏡鏡體

有效

• 申請號: 201822046872.8
• 申請日: 2018-12-07
• 公開（公告）號: CN209198492U
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 龐宗強;白莉萍;龔昱滔
• 申請（專利權）人: 南京郵電大學
• 主分類號: G01Q60/10
• 分類號: G01Q60/10
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 王素琴

1.一種可分離式掃描探針顯微鏡鏡體，其特征在于，所述顯微鏡鏡體包括壓電馬達、支撐架、絕緣蓋、樣品臺、屏蔽罩和前置放大電路盒，所述絕緣蓋上開設有一與所述壓電馬達形狀和大小適配的第一定位卡槽，所述壓電馬達通過粘接方式固定在所述第一定位卡槽內；所述支撐架內部開設有一用于裝設所述壓電馬達的腔體，且所述支撐架上端與所述絕緣蓋固定連接，所述支撐架下端固定在所述樣品臺上開設的與所述支撐架形狀和大小均適配的第二定位卡槽內，所述樣品臺固定在所述前置放大電路盒上；所述屏蔽罩固定于所述前置放大電路盒表面，用于罩住并保護所述壓電馬達、支撐架、絕緣蓋和樣品臺，起電磁干擾屏蔽作用。

2.如權利要求1所述的可分離式掃描探針顯微鏡鏡體，其特征在于，所述支撐架上端開設有預設數量的支撐架螺紋孔，所述絕緣蓋與所述支撐架連接處對應所述支撐架螺紋孔開設有相同數量的絕緣蓋螺紋孔，所述支撐架和絕緣蓋通過螺絲固定的方式穿過所述支撐架螺紋孔和絕緣蓋螺紋孔固定連接在一起。

3.如權利要求2所述的可分離式掃描探針顯微鏡鏡體，其特征在于，所述絕緣蓋還開設有用于所述壓電馬達的軸承通過的滑桿通口和用于引入樣品和探針間隧道電流導線至所述前置放大電路盒的信號線通口。

4.如權利要求3所述的可分離式掃描探針顯微鏡鏡體，其特征在于，所述支撐架下端開設有一用于更換試驗探針和試驗樣品的觀察窗口。

5.如權利要求4所述的可分離式掃描探針顯微鏡鏡體，其特征在于，所述樣品臺上開設有樣品槽和按照預設數量均勻設置于所述樣品臺上樣品臺通孔，所述樣品槽開設于所述觀察窗口的正下方；且所述樣品臺上還開設有用于固定的樣品臺螺紋通孔。

6.如權利要求5所述的可分離式掃描探針顯微鏡鏡體，其特征在于，所述前置放大電路盒上開設有一與所述樣品臺形狀和大小均適配的第三定位卡槽，用于固定所述樣品臺；且對應所述樣品臺螺紋通孔設置有放大電路盒螺紋通孔，通過螺絲固定方式穿過所述樣品臺螺紋通孔和放大電路盒螺紋通孔將所述樣品臺固定在所述第三定位卡槽中。