[實用新型]晶圓傳送裝置

有效

• 申請號: 201822046385.1
• 申請日: 2018-12-06
• 公開（公告）號: CN208954960U
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 林立;吳孝哲;林宗賢;吳龍江;胡廣嚴
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

該實用新型涉及一種晶圓傳送裝置，包括：傳送機器人，用于傳送晶圓；機械手臂，安裝至傳送機器人，能夠跟隨傳送機器人運動，用于放置晶圓；移動平臺，安裝至傳送機器人，能夠跟隨傳送機器人運動，且移動平臺包括電動機；機械手臂連接至電動機的輸出軸，由電動機的輸出軸的輸出量來調整機械手臂的位置，從而調整晶圓的位置。本實用新型的晶圓傳送裝置具有移動平臺，通過移動平臺的電動機的輸出軸，可以控制放置晶圓的機械手臂的位置，從而調整晶圓的位置，使得在使用晶圓傳送裝置進行晶圓傳送時，能夠在晶圓位置出現偏差時及時對晶圓位置進行調整，從而防止晶圓毀損，提高晶圓生產的良率。

技術領域

本實用新型涉及晶圓生產領域，具體涉及一種晶圓傳送裝置。

背景技術

在半導體工藝技術中，晶圓在不同腔體之間的傳送十分重要。

例如，化學氣相沉積(CVD，Chemical Vapor Deposition)工藝作為主要的介質層成膜技術，是半導體技術中一個很重要的模塊，在先進工藝中的應用也越來越廣泛。而在進行化學氣相沉積的過程中，需要將晶圓從FOUP(Front opening unified pod，前開式晶圓傳送盒)傳送到反應腔室(Chamber)內，以在反應腔室內完成化學氣相沉積，再將完成化學氣相沉積的晶圓傳送回FOUP。在傳送晶圓的過程中，晶圓在緩沖腔(Buffer chamber)、預真空腔(Load Lock)，和FOUP之間被傳送，很有可能會發生位置的偏移。

現有技術中，一旦晶圓在傳送過程中出現位置的偏移，設置在緩沖腔內的監控模塊就會發出警報，并控制傳送機器人停止傳送晶圓。此時，被傳送的晶圓無法被傳送回FOUP。然而由于緩沖腔為真空腔，若打開緩沖腔將無法被傳送回FOUP的晶圓取出，則很有可能會造成晶圓的報廢，影響晶圓生產的良率。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶圓傳送裝置，能夠調節被傳送的晶圓的位置偏移，防止晶圓在傳送過程中發生毀損，提高晶圓生產的良率。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種晶圓傳送裝置，包括：傳送機器人，用于傳送晶圓；機械手臂，安裝至所述傳送機器人，能夠跟隨所述傳送機器人運動，用于放置晶圓；移動平臺，安裝至所述傳送機器人，能夠跟隨所述傳送機器人運動，且所述移動平臺包括電動機；所述機械手臂連接至所述電動機的輸出軸，由所述電動機的輸出軸的輸出量來調整所述機械手臂的位置，從而調整晶圓的位置。

可選的，所述電動機包括：Y方向電動機，所述Y方向電動機的輸出軸的長度方向與笛卡爾坐標系的Y軸方向平行，用于控制所述機械手臂在Y軸方向上的位置；X方向電動機，所述X方向電動機的輸出軸的長度方向與笛卡爾坐標系的X軸方向平行，且所述X方向電動機連接所述Y方向電動機的輸出軸，能夠跟隨所述Y方向電動機的輸出軸的輸出量運動；所述機械手臂連接所述X方向電動機的輸出軸。

可選的，所述Y方向電動機的Y方向輸出軸連接至所述X方向電動機，使所述X方向電動機的位置跟隨所述Y方向輸出軸的輸出量的變化而變化。

可選的，所述機械手臂連接至X方向電動機的X方向輸出軸。

可選的，還包括：回位傳感器，安裝于所述傳送機器人，用于檢測所述機械手臂的位置。

可選的，所述回位傳感器包括：X方向回位傳感器，用于檢測所述機械手臂在笛卡爾直角坐標系的X軸方向上的位置；Y方向回位傳感器，用于檢測所述機械手臂在笛卡爾直角坐標系的Y軸方向上的位置。

可選的，還包括控制器，分別連接至所述移動平臺與所述回位傳感器，用于控制所述移動平臺調整機械手臂的位置。

可選的，所述機械手臂包括兩個，分別設置在所述傳送機器人的兩側，以同時傳送兩片晶圓；所述移動平臺也包括兩組，分別設置在所述傳送機器人的兩側，對設置在所述傳送機器人的兩側的機械手臂的位置分別進行控制。