[實用新型]一種溝槽形并行波導結構

有效

• 申請號: 201822045595.9
• 申請日: 2018-12-07
• 公開（公告）號: CN209086461U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 蘇州雷目電子科技有限公司
• 主分類號: G02B5/00
• 分類號: G02B5/00
• 代理公司: 合肥市科融知識產權代理事務所(普通合伙) 34126
• 代理人: 陳思聰

本實用新型涉及一種溝槽形并行波導結構，包括波導層和襯底，波導層中有并行排列的溝槽形波導，相鄰溝槽波形導間設置隔離塊。隔離塊隔離了相鄰波導中傳播的信號，減少了相鄰波導間的串擾，從而減少了波導尺寸，更有利于集成。

技術領域

本實用新型涉及光電子技術領域，具體涉及一種溝槽形并行波導結構。

背景技術

由于衍射極限的限制，傳統光信號傳輸方式無法實現亞波長設計，并且傳統傳輸線之間的耦合較大，影響了光電子器件集成。

表面等離激元波導結構是基于表面等離激元設計的新型波導結構，突破了傳統衍射極限，是光電子研究中的重要研究方向。

并行表面等離激元波導結構是提高集成度的重要設計，但是并行波導之間容易產生信號耦合串擾。

發明內容

針對上述問題，本實用新型提供了一種溝槽形并行波導結構，波導層包括薄膜和在薄膜表面并行排列的溝槽形波導，在薄膜上、相鄰溝槽形波導之間設置隔離塊。

進一步地，所述波導層為貴金屬材料。

進一步地，所述隔離塊的截面為矩形、方形、梯形中的一種。

進一步地，所述隔離塊的截面為矩形。

進一步地，所述隔離塊為兩個。

進一步地，所述兩個隔離塊不相連。

進一步地，所述兩隔離塊間距離小于60納米。

進一步地，所述隔離塊為介質材料。

本實用新型的有益效果：本實用新型提供的這種溝槽形并行波導結構中，隔離塊在薄膜上、在兩相鄰溝槽形波導間，那么波導層表面的電磁場被局域在隔離塊與薄膜之間，該處的有效折射率比不加隔離塊時大，相當于隔離塊增加了相鄰溝槽形波導間的光程，減小了相鄰波導間的串擾。

以下將結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明。

附圖說明

圖1是溝槽形并行波導結構示意圖一。

圖2是溝槽形并行波導結構示意圖二。

圖中：1、波導層；2、襯底；3、溝槽形波導；4、隔離塊。

具體實施方式

為進一步闡述本實用新型達成預定目的所采取的技術手段及功效，以下結合附圖及實施例對本實用新型的具體實施方式、結構特征及其功效，詳細說明如下。

實施例1

為了減少溝槽形并行波導中，相鄰波導之間的串擾，本實用新型提供了一種如圖1所示的溝槽形并行波導結構，該波導結構包括波導層1和襯底2，波導層1中包括貴金屬薄膜和在薄膜上并行排列的溝槽形波導3，在薄膜上、相鄰溝槽形波導3間設置有隔離塊4。隔離塊4的截面為矩形和介質材料。隔離塊4位于貴金屬薄膜上。對于從溝槽形波導中傳播到貴金屬薄膜表面的表面等離激元，隔離塊4具有很強的電磁波局域作用，這主要表現為兩個方面：一個方面，隔離塊4的折射率大于沒有隔離塊4時空氣的折射率，對于在貴金屬表面傳播的表面等離激元，有效折射率比空氣時的有效折射率大，另一方面，隔離塊4是塊狀的，具有邊界效應，表面等離激元會在隔離塊4下面、貴金屬薄膜上產生局域效果，這兩方面的效果均能更好地實現電磁場局域效果，相當于增加了相鄰溝槽形波導3間的光程，減少了相鄰溝槽形波導3間的串擾。

實施例2