[實(shí)用新型]一種真空鍍膜室

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822044847.6
• 申請日: 2018-12-07
• 公開（公告）號: CN209352969U
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龍志光
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市超為龍科技有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種真空鍍膜室，其特征在于，包括基座（1）、安裝架（2）、后鍍膜倉（3）、轉(zhuǎn)軸（4）、前鍍膜倉（5）、前密封架（6）、密封把手（7）、后密封架（8）、輔助真空泵（9）、密封膠條（10），基座（1）垂直焊接了安裝架（2），安裝架（2）使用螺栓固定安裝了后密封架（8），后密封架（8）后端密封焊接有后鍍膜倉（3），后密封架（8）上端位置安裝有輔助真空泵（9），后密封架（8）焊接的轉(zhuǎn)軸（4）與前密封架（6）連接，前密封架（6）后端密封焊接了前鍍膜倉（5），后鍍膜倉（3）和前鍍膜倉（5）使用密封把手（7）密閉安裝，后密封架（8）前端面膠結(jié)有密封膠條（10）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜室，其特征在于，所述前鍍膜倉（5）前端面安裝有觀測窗（11）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜室，其特征在于，所述后密封架（8）上側(cè)邊安裝了與輔助真空泵（9）連通的抽氣泵導(dǎo)管（12），后密封架（8）下側(cè)邊安裝有底部加熱裝置（13）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種真空鍍膜室，其特征在于，所述抽氣泵導(dǎo)管（12）由主導(dǎo)管（14）、安裝架體（15）和側(cè)導(dǎo)管（16）組成，

安裝架體（15）上端面中軸線位置安裝了主導(dǎo)管（14），主導(dǎo)管（14）與側(cè)導(dǎo)管（16）連通。