[實(shí)用新型]一種凈洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822042077.1
• 申請(qǐng)日: 2018-12-06
• 公開（公告）號(hào): CN209205911U
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 米欣;肖強(qiáng);劉星
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市盈石科技有限公司;浙江師范大學(xué)
• 主分類號(hào): B08B3/08
• 分類號(hào): B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B08B3/14;B08B13/00
• 代理公司: 杭州宇信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 33231
• 代理人: 黃鐵軍

本實(shí)用新型公開了一種凈洗裝置，該凈洗裝置包括槽體，槽體的內(nèi)部安裝有蒸發(fā)槽與凈洗槽，槽體從上到下依次安裝有干燥管，冷凝管以及比重分離器，蒸發(fā)槽、凈洗槽以及冷凝管之間形成蒸氣區(qū)，蒸氣區(qū)與干燥管之間形成干燥區(qū)；槽體上安裝有噴淋頭，噴淋頭安裝在凈洗槽的上方，噴淋頭安裝在蒸氣區(qū)位置，噴淋頭與凈洗槽之間為噴淋區(qū)。本實(shí)用新型采用比重分離器，含將有脫離自物品的污染物的溶劑組合物中的輕比重污染物利用比重分離原理除去，并在凈洗槽與蒸發(fā)槽間的槽隔板上設(shè)置除水槽，進(jìn)一步將氫氟醚中溶解的水除去，從而達(dá)到提高凈洗效果，延長(zhǎng)凈洗系統(tǒng)連續(xù)作業(yè)周期，抑制氫氟醚溶劑劣化。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種裝置，特別涉及一種凈洗裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體及光學(xué)器件制造等領(lǐng)域，涉及到的電子元件、透鏡等光學(xué)元件等精密元器件通常需要精密清洗，以去除樹脂、有機(jī)焊劑、油污、油脂、蠟以及在電子制造和電子機(jī)械應(yīng)用中類似的污染物。

采用純水清洗，或采用除污洗滌后再用純水清洗，將其清洗干凈。再經(jīng)過(guò)除水步驟后，可實(shí)現(xiàn)元器件的凈洗。中國(guó)實(shí)用新型專利CN 100471543C公開了長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)使用也可穩(wěn)定維持良好的脫水性能的脫水方法，包括以下工序，在將選自氫氯氟烴類(HCFCs)、氫氟烴類(HFCs)以及氫氟醚類(HFEs)的至少1種與醇類作為必需成分的溶劑組合物中，浸漬在表面附著有水的物品來(lái)進(jìn)行脫水的浸漬工序；通過(guò)比重分離法從含有脫離自物品的水的溶劑組合物中分離出水的比重分離工序；使用凝集的過(guò)濾器過(guò)濾在比重分離工序中水已被分離的溶劑組合物，將殘存于溶劑組合物中的水進(jìn)一步分離的過(guò)濾工序。

含氟類溶劑為有機(jī)溶劑中的某些氫原子被氟原子取代。其中，氫氟醚是一種氟化醚類化合物，就是醚類物質(zhì)的某些氫原子被氟原子所取代，其臭氧消耗潛值(ODP)為零，溫室效應(yīng)潛值(GWP)較低。HFEs具有粘度低、不易燃、安全性高等特點(diǎn)，既有適度的溶解性又有良好的材料相容性。通過(guò)使用HFEs直接凈洗精密元器件已經(jīng)成為一種重要的清洗技術(shù)。但HFEs價(jià)格昂貴，其揮發(fā)性較高，導(dǎo)致清洗成本較高。采用加熱、超聲等方式強(qiáng)化清洗，通過(guò)設(shè)計(jì)合理的凈洗裝置和方案來(lái)提高HFEs的清洗效果，并增加回收利用效率，可減少HFEs用量，降低凈洗成本。

無(wú)論是用水清洗再用HFEs除水的技術(shù)方案，還是采用HFEs直接清洗元器件，連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間使用后，水會(huì)進(jìn)入HFEs凈洗系統(tǒng)內(nèi)，導(dǎo)致清洗效率下降。通過(guò)在溶劑循環(huán)的通路中，配置多孔氟樹脂濾膜，阻擋溶劑中的水通過(guò)，進(jìn)行水分離，以及在清洗裝置中設(shè)計(jì)比重分離槽，將更高比例含量的水從清洗系統(tǒng)中除去，以維持良好的脫水和清洗效率。

但是，上述技術(shù)方案中，比重分離及膜分離除水后的HFEs中仍溶解一定量的水，水在HFEs中的溶解度為90～150ppm，在長(zhǎng)期加熱冷凝循環(huán)使用過(guò)程中，水會(huì)加速HFEs的劣化，甚至產(chǎn)生氟離子等腐蝕性物質(zhì)，加之補(bǔ)耗HFEs引起腐蝕性物質(zhì)累積，帶來(lái)危害待清洗元器件的可能性。中國(guó)實(shí)用新型專利CN 101622201B公開了一種含氟基溶劑的混合溶液的純化方法，依次通過(guò)水洗、活性炭處理、活性氧化鋁處理及顆粒過(guò)濾處理四個(gè)步驟，得到純化的含氟溶劑的溶液。但該外置純化的凈洗方案勢(shì)必會(huì)增大凈洗系統(tǒng)負(fù)荷，降低清洗劑循環(huán)使用效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)使用也可以維持良好凈洗性能的凈洗裝置，在凈洗裝置中內(nèi)嵌比重分離器，含有脫離自物品的污染物的溶劑組合物中的輕比重污染物利用比重分離原理除去，并在凈洗槽與蒸發(fā)槽間的槽隔板上設(shè)置除水槽，進(jìn)一步將氫氟醚中溶解的水除去，從而達(dá)到提高凈洗效果，延長(zhǎng)凈洗系統(tǒng)連續(xù)作業(yè)周期，抑制氫氟醚溶劑劣化。該凈洗方法使用的凈洗裝置簡(jiǎn)單，除水操作均為內(nèi)嵌設(shè)計(jì)，占地空間小，且干燥工序未增加凈洗系統(tǒng)物料循環(huán)阻力，適合工業(yè)凈洗應(yīng)用。