[實用新型]氣體前處理裝置及回收氫氣檢測裝置

有效

• 申請號: 201822039690.8
• 申請日: 2018-12-05
• 公開（公告）號: CN209362150U
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發明（設計）人: 安軍林;王海禮;魏東亮;田潤朝;征取;李偉珍
• 申請（專利權）人: 亞洲硅業（青海）有限公司
• 主分類號: B01D53/04
• 分類號: B01D53/04;C01B3/50
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 王寧寧

1.一種氣體前處理裝置，其特征在于，包括殼體、第一端蓋和第二端蓋，所述殼體的內部設置有用于吸附氯化氫和氯硅烷的吸附介質，所述殼體的一端與所述第一端蓋連接，所述殼體的另一端與所述第二端蓋連接，所述第一端蓋設置有進口，所述進口設置有進氣閥，所述第二端蓋設置有出口，所述出口用于與氣相色譜儀的進樣口連通，所述出口設置有出氣閥；所述第一端蓋設置有置換氣進氣管，所述置換氣進氣管設置有置換氣進口閥，所述第二端蓋設置有置換氣出氣管，所述置換氣出氣管設置有置換氣出口閥。

2.根據權利要求1所述的氣體前處理裝置，其特征在于，還包括抽氣泵，所述抽氣泵的進氣端與所述出口連通。

3.根據權利要求1所述的氣體前處理裝置，其特征在于，還包括氣體進口管和氣體出口管，所述氣體進口管與所述進口連通，所述氣體出口管與所述出口連通。

4.根據權利要求1所述的氣體前處理裝置，其特征在于，所述殼體為透明管狀結構。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的氣體前處理裝置，其特征在于，所述殼體的一端與所述第一端蓋螺紋連接，所述殼體的另一端與所述第二端蓋螺紋連接。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的氣體前處理裝置，其特征在于，所述置換氣進氣管的材質和所述置換氣出氣管的材質均為四氟。

7.根據權利要求1至4中任一項所述的氣體前處理裝置，其特征在于，所述第一端蓋的材質和所述第二端蓋的材質均為四氟。

8.根據權利要求1至4中任一項所述的氣體前處理裝置，其特征在于，所述吸附介質包括第一吸附劑層、第二吸附劑層和第三吸附劑層，所述第一吸附劑層位于所述進口處，所述第三吸附劑層位于所述出口處，所述第二吸附劑層位于所述第一吸附劑層與所述第三吸附劑層之間。

9.根據權利要求8所述的氣體前處理裝置，其特征在于，所述第一吸附劑層為活性炭，所述第二吸附劑層為NaOH顆粒，所述第三吸附劑層為硅膠。

10.一種回收氫氣檢測裝置，其特征在于，包括氣相色譜儀和如權利要求1至9中任一項所述的氣體前處理裝置，所述氣相色譜儀的進樣口與所述出口連通。