[實用新型]一種用于 ITO 靶材冷壓固定裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201822035850.1 | 申請日： | 2018-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN210758405U | 公開（公告）日： | 2020-06-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張玲莉;那嘉;周傳水;余永強;李雋;柯尚文;康明鋒;董永亮;范家偉 | 申請（專利權(quán)）人： | 廣東凱盛光伏技術(shù)研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計研究院有限公司 |
| 主分類號： | B28B17/00 | 分類號： | B28B17/00 |
| 代理公司： | 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205 | 代理人： | 左恒峰 |
| 地址： | 528137 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 ito 靶材冷壓 固定 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于ITO靶材冷壓固定裝置，其特征在于，包括用于將ITO靶材上下夾緊的固定板(1)，所述固定板(1)側(cè)邊設(shè)有固定凹槽(2)，所述固定板(1)上均勻排布有透壓圓孔(3)；所述固定板(1)通過與固定凹槽(2)配合的皮筋固定；所述固定板(1)采用PVC材料，規(guī)格為180mm×150mm×10mm；所述透壓圓孔(3)直徑為20mm。
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