[實(shí)用新型]用于濕制程的藥液補(bǔ)充回流裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822032768.3
• 申請日: 2018-12-05
• 公開（公告）號: CN209150058U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鍾添達(dá);蘇紹君;黃世達(dá);巫坤星;呂理榕
• 申請（專利權(quán)）人: 揚(yáng)博科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京匯澤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11228
• 代理人: 關(guān)宇辰

1.一種用于濕制程的藥液補(bǔ)充回流裝置，其特征在于，包括:

一控制單元；

一機(jī)臺，其包含一沉浸槽、一回流槽及多個(gè)回流管，該沉浸槽通過這些回流管而連通該回流槽；

一液位計(jì)，其設(shè)置在該沉浸槽中并電性連接該控制單元，該液位計(jì)是量測該沉浸槽中一藥液的液位高度并傳送至該控制單元；

至少一個(gè)回流閥，其安裝在至少其中一個(gè)回流管上；

一補(bǔ)液循環(huán)結(jié)構(gòu)，其包括至少一個(gè)補(bǔ)液管、安裝在該補(bǔ)液管上的一補(bǔ)液閥及連通該回流槽的一第一水泵，該補(bǔ)液管是連接在該沉浸槽及該第一水泵之間，該第一水泵是電性連接該控制單元。

2.如權(quán)利要求1所述的用于濕制程的藥液補(bǔ)充回流裝置，其特征在于，還包括多個(gè)噴嘴及連接這些噴嘴的一連通管，這些噴嘴設(shè)置在該沉浸槽上。

3.如權(quán)利要求2所述的用于濕制程的藥液補(bǔ)充回流裝置，其特征在于，還包括設(shè)置在該機(jī)臺之外的一第二水泵，該第二水泵是連接該連通管及該回流槽。

4.如權(quán)利要求1所述的用于濕制程的藥液補(bǔ)充回流裝置，其特征在于，該回流閥是設(shè)置在該機(jī)臺的外側(cè)，安裝有該回流閥的回流管是彎折延伸至該機(jī)臺之外而連接該回流閥。

5.如權(quán)利要求1所述的用于濕制程的藥液補(bǔ)充回流裝置，其特征在于，該補(bǔ)液閥是設(shè)置在該機(jī)臺的外側(cè)。

6.如權(quán)利要求1所述的用于濕制程的藥液補(bǔ)充回流裝置，其特征在于，還包括一擴(kuò)散盒，該擴(kuò)散盒設(shè)置在該沉浸槽之中并對應(yīng)罩合該補(bǔ)液管的端口。

7.如權(quán)利要求6所述的用于濕制程的藥液補(bǔ)充回流裝置，其特征在于，該擴(kuò)散盒包含多個(gè)側(cè)板及一個(gè)蓋板，所述側(cè)板設(shè)有多個(gè)擴(kuò)散孔。

8.如權(quán)利要求1所述的用于濕制程的藥液補(bǔ)充回流裝置，其特征在于，該補(bǔ)液循環(huán)結(jié)構(gòu)還包括一循環(huán)管及安裝在該循環(huán)管上的一循環(huán)閥，該循環(huán)管是連接在該第一水泵及該回流槽之間。

9.如權(quán)利要求1所述的用于濕制程的藥液補(bǔ)充回流裝置，其特征在于，還包括另一個(gè)液位計(jì)，兩個(gè)液位計(jì)是設(shè)置在該沉浸槽相對的兩側(cè)邊。

10.如權(quán)利要求1所述的用于濕制程的藥液補(bǔ)充回流裝置，其特征在于，該回流閥電性連接該控制單元，該控制單元通過取得該液位高度而控制該回流閥的啟閉。