[實用新型]流體控制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822032666.1
• 申請日: 2018-12-05
• 公開（公告）號: CN209261949U
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田志偉
• 申請（專利權(quán)）人: 鑒鋒國際股份有限公司
• 主分類號: F15B13/02
• 分類號: F15B13/02
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 王玉雙;李巖

本實用新型涉及一種流體控制裝置，該接頭包括第一單元以及第二單元以形成為具特定形狀的接頭，如此一來，該接頭與相鄰的接頭彼此疊合而具有簡易拆卸的效果，本實用新型亦提供包括該接頭的流體控制裝置。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種流體控制裝置，尤指一種可簡易拆解和組裝，以及彈性化模塊與高密封性的流體控制裝置。

背景技術(shù)

流體控制裝置為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中常使用的一種裝置，其目的在于供給半導(dǎo)體制造過程中，包括擴(kuò)散、蝕刻、濺射等過程所需的氣體。目前流體控制裝置主要包括多種設(shè)備，譬如減壓閥、壓力計、質(zhì)量流量控制器、氣體過濾器、手動閥、第一截止閥、第二截止閥等，并包括用于連接該些流體控制設(shè)備的各式接頭，以構(gòu)成通路使流體得以順利流通。

即便流體控制裝置已廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，然仍有缺陷待改善。舉例來說，由于流體控制裝置中包括多種設(shè)備，故在流體控制裝置的拆卸及組裝難易度即為一待改善的議題，目前已提出的解決方案包括減少流體控制裝置中所使用的組件數(shù)量，進(jìn)而達(dá)到組裝容易的效果。

譬如，美國專利公開號US20150075660A1的流體控制裝置亦提出組裝問題的改善方法。其裝置中包括將多個流體控制機(jī)器串行配置成一列的上層以及用來連接上層的多個流體控制機(jī)器的通路塊的下層，該些相鄰的通路塊之間彼此通過倒U字型配管連接，不僅容易并用多列用通路塊及單列用通路塊，也容易進(jìn)行行列數(shù)的增減。

除此之外，流經(jīng)流體控制裝置的流體之中有些帶有腐蝕性，是以，除了需改善流體控制裝置的組件抗腐蝕性外、亦得考慮清潔維護(hù)的難易。再者，流體在流體控制裝置中流動時也常出現(xiàn)泄漏的問題，特別當(dāng)流動的氣體帶有危險或人體危害的時候，更是需要仔細(xì)避免流體外泄問題。

有鑒于此，亟需開發(fā)出一種可改善上述缺陷的新穎性流體控制裝置，以滿足產(chǎn)業(yè)的需求。

實用新型內(nèi)容

本實用新型主要目的，在于解決現(xiàn)有流體控制裝置不易拆解或組裝的問題。

本實用新型另一目的，在于改善現(xiàn)有用于流體控制裝置的接頭中，氣體通道容易有顆粒殘留且清洗不易的缺點。

本實用新型又一目的，在于降低氣體在流體控制裝置流動的過程中泄漏的風(fēng)險。

為了達(dá)到上述目的，本實用新型一實施例中提供一種包括至少兩個流體流通孔的用于流體控制裝置的接頭，其包括：一第一單元，具有一上表面、一與該上表面相對的下表面、一設(shè)置于該上表面的第一流體流通孔、一設(shè)置于該上表面的第二流體流通孔以及一連通該第一流體流通孔與該第二流體流通孔且貫穿于設(shè)置該第一單元之中的第一信道；以及一第二單元，設(shè)置于該第一單元之下，包括一自該第一單元的該下表面的一部分突出的定位塊以及一相鄰于該下表面的另一部分與該定位塊的第一凹陷部。

為了達(dá)到上述目的，本實用新型另一實施例中提供一種包括至少三個流體流通孔的用于流體控制裝置的接頭，其包括：一第一單元，具有一上表面、一與該上表面相對的下表面、一設(shè)置于該上表面的第一流體流通孔、一設(shè)置于該上表面的第二流體流通孔、以及一設(shè)置于該上表面的第四流體流通孔，該第一流體流通孔與該第四流體流通孔之間設(shè)置有一第一通道以連通該第一流體流通孔與該第四流體流通孔；一延伸單元，該延伸單元自該第一單元的一側(cè)端朝外突出，該延伸單元包括一第三流體流通孔，且該第三流體流通孔和該第二流體流通孔之間設(shè)置有一第二通道以連通該第二流體流通孔與該第三流體流通孔；以及一第二單元，設(shè)置于該第一單元之下，包括一自該第一單元的該下表面的一部分突出的定位塊以及一相鄰于該下表面的另一部分與該定位塊的第一凹陷部。