[實用新型]用于微水束與激光耦合的高壓微水束的射流裝置有效
| 申請號: | 201822032479.3 | 申請日: | 2018-12-05 |
| 公開(公告)號: | CN209614568U | 公開(公告)日: | 2019-11-12 |
| 發明(設計)人: | 蔣興橋;馬巖;榮宇;李東旭;陳立新 | 申請(專利權)人: | 沈陽儀表科學研究院有限公司 |
| 主分類號: | B23K26/146 | 分類號: | B23K26/146 |
| 代理公司: | 沈陽亞泰專利商標代理有限公司 21107 | 代理人: | 郭元藝 |
| 地址: | 110043 遼*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 微水 二維微調 本實用新型 安裝支架 激光耦合 射流腔體 射流裝置 耦合 晶圓加工工藝 高能激光束 固定相接 加工效率 射流水束 中心通孔 微細 激光束 晶圓 加工 | ||
1.一種用于微水束與激光耦合的高壓微水束的射流裝置,其特征在于:包括安裝支架(1)、二維微調平臺(2)及射流腔體(3);所述二維微調平臺(2)與安裝支架(1)固定相接;所述射流腔體(3)固定置于二維微調平臺(2)中部;所述在二維微調平臺(2)中心設有中心通孔(22)。
2.根據權利要求1所述的用于微水束與激光耦合的高壓微水束的射流裝置,其特征在于:所述二維微調平臺(2)包括固定外殼(6)、Y向位移平臺(4)、X向位移平臺(5)、Y向調節機構(7)及X向調節機構(8);所述固定外殼(6)與安裝支架(1)固定相接;所述Y向位移平臺(4)與X向位移平臺(5)經XY雙向導軌(9)滑動相接;所述Y向調節機構(7)及X向調節機構(8)依次分別調節Y向位移平臺(4)及X向位移平臺(5)的水平位移。
3.根據權利要求2所述的用于微水束與激光耦合的高壓微水束的射流裝置,其特征在于:所述射流腔體(3)包括外殼(13)、底座(14)、噴嘴體(15)及玻璃窗口安裝結構(16);所述玻璃窗口安裝結構(16)套裝于底座(14)中心位置;所述噴嘴體(15)固定設于底座(14)下部;所述外殼(13)固定置于底座(14)上部;在所述外殼(13)側向開有進水孔(23);在所述外殼(13)內部設有環形水槽;所述進水孔(23)與環形水槽相通;在所述底座(14)上均布設有數個通孔(24);所述通孔(24)與所述環形水槽相通;所述玻璃窗口安裝結構(16)包括中空水腔結構(17)、玻璃窗口(18)及玻璃壓環(19);所述中空水腔結構(17)在圓周方向上設置環形槽(25);在所述環形槽(25)下部均布設置數個半圓形進水槽(26);所述噴嘴體(15)包括噴嘴安裝座(20)及噴嘴(21);在所述噴嘴安裝座(20)上表面設有中心射線分布水槽(27);所述中心射線分布水槽(27)與半圓形進水槽(26)相對應。
4.根據權利要求3所述的用于微水束與激光耦合的高壓微水束的射流裝置,其特征在于:所述進水孔(23)的外徑為6mm;所述環形水槽寬度為3mm,深度為2.5mm。
5.根據權利要求4所述的用于微水束與激光耦合的高壓微水束的射流裝置,其特征在于:所述通孔(24)為6個,其外徑為3mm。
6.根據權利要求5所述的用于微水束與激光耦合的高壓微水束的射流裝置,其特征在于:所述環形槽(25)的寬度為4mm,深度為3.8mm;所述半圓形進水槽(26)為6個。
7.根據權利要求6所述的用于微水束與激光耦合的高壓微水束的射流裝置,其特征在于:所述噴嘴安裝座(20)采用不銹鋼材料;所述噴嘴(21)采用人造藍寶石材料;所述噴嘴(21)外徑為2mm;所述噴嘴(21)中心開30~500μm圓孔;所述噴嘴(21)上下表面及圓孔內壁表面粗糙度Ra≤0.014;圓孔邊緣倒角≤0.5μm;圓孔長徑比≤3。
8.根據權利要求7所述的用于微水束與激光耦合的高壓微水束的射流裝置,其特征在于:在所述底座(14)、外殼(13)及噴嘴體(15)結構上設置環形密封槽。
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