[實用新型]微機電泵模塊有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201822029923.6 | 申請日： | 2018-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN209100243U | 公開（公告）日： | 2019-07-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 莫皓然;余榮侯;張正明;戴賢忠;廖文雄;黃啟峰;韓永隆;李偉銘 | 申請（專利權(quán)）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分類號： | F04B49/06 | 分類號： | F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務(wù)所有限公司 31100 | 代理人： | 喻學兵 |
| 地址： | 中國臺灣新竹市*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微機電泵 芯片本體 微處理器 連接電極 電連接 短邊 微機電芯片 第二電極 第一電極 控制信號 電極 鄰近 電極電連接 傳輸 | ||
1.一種微機電泵模塊，其特征在于，包含：
一微處理器，發(fā)出一控制信號；
一微機電芯片，電連接該微處理器，該微機電芯片包含：
一芯片本體，為一長方形態(tài)樣，具有一短邊；
多個微機電泵，設(shè)置于該芯片本體，且分別具有一第一電極及一第二電極；
多個連接電極，設(shè)置于該芯片本體且鄰近該短邊，該多個連接電極分別電連接該多個微機電泵的該第一電極；以及
至少一共電極，設(shè)置于該芯片本體且鄰近該短邊，該至少一共電極電連接該多個微機電泵的該第二電極；
其中，該微處理器分別電連接該多個連接電極及該至少一共電極，以傳輸該控制信號至該多個微機電泵。
2.如權(quán)利要求1所述的微機電泵模塊，其特征在于，該至少一共電極包含一第一共電極。
3.如權(quán)利要求2所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵的該第二電極電連接該第一共電極。
4.如權(quán)利要求2所述的微機電泵模塊，其特征在于，該至少一共電極更包含一第二共電極。
5.如權(quán)利要求4所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵可區(qū)分為一第一微機電泵群組及一第二微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第一共電極，該第二微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第二共電極。
6.如權(quán)利要求4所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵的第二電極電連接該第一共電極與該第二共電極。
7.如權(quán)利要求4所述的微機電泵模塊，其特征在于，該至少一共電極更包含一第三共電極及一第四共電極。
8.如權(quán)利要求7所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵可區(qū)分為一第一微機電泵群組、一第二微機電泵群組、一第三微機電泵群組及一第四微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第一共電極，該第二微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第二共電極，該第三微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第三共電極，該第四微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第四共電極。
9.如權(quán)利要求7所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵可區(qū)分為一第一微機電泵群組及一第二微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第一共電極與該第二共電極，該第二微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第三共電極與該第四共電極。
10.如權(quán)利要求7所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵的該第二電極電連接該第一共電極、該第二共電極、該第三共電極及該第四共電極。
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