[實用新型]微機電泵模塊

有效

• 申請號: 201822029852.X
• 申請日: 2018-12-05
• 公開（公告）號: CN209100242U
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 莫皓然;余榮侯;張正明;戴賢忠;廖文雄;黃啟峰;韓永隆;陳宣愷
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B49/06
• 分類號: F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 喻學兵

1.一種微機電泵模塊，其特征在于，包含：

一微處理器，發出一控制信號；

一微機電芯片，電連接該微處理器，包含：

一芯片本體；

多個微機電泵，設置于該芯片本體，且分別具有一第一電極及一第二電極；以及

至少一共電極，設置于該芯片本體且電連接該多個微機電泵的該第二電極；

其中，該多個微機電泵的該第一電極與該微機電芯片的該至少一共電極電連接該微處理器，以接收該控制信號。

2.如權利要求1所述的微機電泵模塊，其特征在于，該至少一共電極包含一第一共電極。

3.如權利要求2所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵的第二電極電連接該第一共電極。

4.如權利要求2所述的微機電泵模塊，其特征在于，該至少一共電極更包含一第二共電極。

5.如權利要求4所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵可區分為一第一微機電泵群組及一第二微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第一共電極，該第二微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第二共電極。

6.如權利要求4所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵的第二電極電連接該第一共電極與該第二共電極。

7.如權利要求4所述的微機電泵模塊，其特征在于，該至少一共電極更包含一第三共電極及一第四共電極。

8.如權利要求7所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵可區分為一第一微機電泵群組、一第二微機電泵群組、一第三微機電泵群組及一第四微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第一共電極，該第二微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第二共電極，該第三微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第三共電極，該第四微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第四共電極。

9.如權利要求7所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵可區分為一第一微機電泵群組及一第二微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第一共電極與該第二共電極，該第二微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第三共電極與該第四共電極。

10.如權利要求7所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵的該第二電極電連接該第一共電極、該第二共電極、該第三共電極及該第四共電極。