[實用新型]納米壓印彈性模板及納米壓印組件有效
| 申請號： | 201822028250.2 | 申請日： | 2018-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN209281147U | 公開（公告）日： | 2019-08-20 |
| 發明（設計）人： | 童美魁;段曉東 | 申請（專利權）人： | 上海安翰醫療技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海波拓知識產權代理有限公司 31264 | 代理人： | 李萌 |
| 地址： | 201206 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 納米壓印 納米壓印膠 彈性模板 增粘層 彈性支撐層 母板 | ||
1.一種納米壓印彈性模板，其特征在于：所述納米壓印彈性模板包括彈性支撐層、增粘層及納米壓印膠層，所述增粘層形成于所述彈性支撐層上，所述納米壓印膠層形成于所述增粘層上，在納米壓印膠層上形成有納米壓印結構。
2.根據權利要求1所述的納米壓印彈性模板，其特征在于：所述彈性支撐層為聚二甲基硅氧烷制成的彈性支撐層。
3.根據權利要求1所述的納米壓印彈性模板，其特征在于：所述彈性支撐層的彈性模量為1-20MPa。
4.根據權利要求1所述的納米壓印彈性模板，其特征在于：所述納米壓印膠層固化后的彈性模量為20-500MPa。
5.根據權利要求1所述的納米壓印彈性模板，其特征在于：所述增粘層由3-丙烯酰氧基丙基甲基二氯硅烷材料制成的增粘層。
6.一種納米壓印組件，其特征在于，包括：
基板，包括基片、在基片一側上依次設置的彈性支撐層、增粘層及納米壓印膠層；
母板，在母板上形成有納米壓印結構；
通過將基板中納米壓印膠層所在的一側與母板中納米壓印結構所在的一側接觸，納米壓印結構印制于納米壓印膠層上。
7.根據權利要求6所述的納米壓印組件，其特征在于：在基片與彈性支撐層之間還形成有抗黏劑層。
8.根據權利要求7所述的納米壓印組件，其特征在于：所述抗黏劑層由全氟辛基三氯硅烷和/或全氟癸基三氯硅烷形成。
9.根據權利要求6所述的納米壓印組件，其特征在于：所述基片由硅片、玻璃、石英片或聚四氟乙烯形成。
10.根據權利要求6所述的納米壓印組件，其特征在于：所述納米壓印結構上涂覆有抗黏劑。
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