[實用新型]一種制備周期極化疇反轉晶體的裝置

有效

• 申請號: 201822027604.1
• 申請日: 2018-12-05
• 公開（公告）號: CN209086629U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發明（設計）人: 孔劍;王丹丹
• 申請（專利權）人: 浙江大學昆山創新中心
• 主分類號: G02F1/355
• 分類號: G02F1/355
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

1.一種制備周期極化疇反轉晶體的裝置，其特征在于：包括真空腔，真空腔的底部設置有樣品臺，樣品臺上設置有鐵電晶體，鐵電晶體的底面刻蝕有周期性電極，周期性電極接地，鐵電晶體的兩側分別設置有兩電極板，兩電極板連接位于真空腔外的控制電路，控制電路控制兩電極板之間產生高頻低壓電場，鐵電晶體的上方設置有若干電暈線，電暈線連接位于真空腔外的氣體源和高壓電源。

2.根據權利要求1所述的一種制備周期極化疇反轉晶體的裝置，其特征在于：兩電極板分別設置在真空腔的兩側內壁上。

3.根據權利要求1所述的一種制備周期極化疇反轉晶體的裝置，其特征在于：電暈線為S型電暈線或螺旋型電暈線。

4.根據權利要求3所述的一種制備周期極化疇反轉晶體的裝置，其特征在于：S型電暈線的兩端從真空腔側壁引出。

5.根據權利要求3所述的一種制備周期極化疇反轉晶體的裝置，其特征在于：螺旋型電暈線向中心處逐步螺旋升高，位于中心的一端從真空腔頂部引出，另一端從從真空腔側壁引出。

6.根據權利要求1所述的一種制備周期極化疇反轉晶體的裝置，其特征在于：真空腔包括腔體以及與腔體連通的真空泵。

7.根據權利要求1所述的一種制備周期極化疇反轉晶體的裝置，其特征在于：樣品臺上開設有通道，通道的一端朝向鐵電晶體底面，通道的另一端連接真空泵。

8.根據權利要求1所述的一種制備周期極化疇反轉晶體的裝置，其特征在于：還包括控制鐵電晶體溫度的溫控裝置。