[實用新型]一種光刻機的自動上板裝置有效
| 申請號： | 201822027520.8 | 申請日： | 2018-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN209044304U | 公開（公告）日： | 2019-06-28 |
| 發明（設計）人： | 王澤明;鄧超略;黃文斌;高尊虎 | 申請（專利權）人： | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 東莞市神州眾達專利商標事務所(普通合伙) 44251 | 代理人： | 劉漢民 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區西鄉*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 傳送帶 取料機構 放料架 糾正組件 驅動裝置 吸附機構 糾正 驅動連接 上板裝置 光刻機 本實用新型 傳送帶表面 工作效率 向上移動 向下移動 廢板 平齊 上板 | ||
【權利要求書】：
1.一種光刻機的自動上板裝置，其特征在于：包括取料機構、傳送帶、放料架、吸附機構和兩糾正組件，所述取料機構設于放料架和傳送帶之間，所述取料機構與吸附機構驅動連接，所述取料機構帶動吸附機構在放料架和傳送帶上方往復移動，所述兩糾正組件設于傳送帶遠離放料架的一端的上方，所述糾正組件包括驅動裝置和糾正柱，所述兩糾正柱相互平齊，所述驅動裝置設置在傳送帶上方，所述驅動裝置和糾正柱驅動連接，并帶動糾正柱向下移動設于傳送帶表面或帶動糾正柱向上移動設于傳送帶上方。
2.根據權利要求1所述的一種光刻機的自動上板裝置，其特征在于：所述吸附機構包括真空吸盤、固定支架，所述真空吸盤設置在固定支架底部，所述取料機構的輸出端與固定支架的一端連接。
3.根據權利要求2所述的一種光刻機的自動上板裝置，其特征在于：所述取料機構包括支撐部、第一電機，所述第一電機設于支撐部頂端，所述第一電機的輸出軸與水平面垂直，所述第一電機的輸出軸與固定支架的一端連接，所述第一電機帶動吸附機構以第一電機的輸出軸為圓心轉動。
4.根據權利要求1所述的一種光刻機的自動上板裝置，其特征在于：所述驅動裝置為步進電機，所述步進電機的輸出軸連接有滾珠絲桿，糾正柱的一端固定連接在滾珠絲桿的螺母上，通過螺母帶動糾正柱相對于傳送帶表面上下移動。
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