[實用新型]一種制備周期極化疇反轉結構晶體的裝置有效
| 申請號： | 201822027419.2 | 申請日： | 2018-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN209086627U | 公開（公告）日： | 2019-07-09 |
| 發明（設計）人： | 孔劍;徐晨晨 | 申請（專利權）人： | 浙江大學昆山創新中心 |
| 主分類號： | G02F1/355 | 分類號： | G02F1/355 |
| 代理公司： | 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215347 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鐵電晶體 激光分束裝置 本實用新型 極化疇反轉 周期性電極 結構晶體 制備周期 激光器 電暈線 真空腔 高壓電源 激光誘導 極化電壓 極化過程 矯頑電場 生產過程 極化 接地 低電壓 良品率 氣體源 樣品臺 底面 頂面 擊穿 刻蝕 激光 | ||
1.一種制備周期極化疇反轉結構晶體的裝置，其特征在于：包括真空腔，真空腔的底部設置有樣品臺，樣品臺上設置有鐵電晶體，鐵電晶體的底面刻蝕有周期性電極，周期性電極接地，鐵電晶體的上方設置有電暈線和激光分束裝置，電暈線連接氣體源和高壓電源，激光分束裝置連接激光器，激光器通過激光分束裝置將若干束激光射向鐵電晶體頂面。
2.根據權利要求1所述的一種制備周期極化疇反轉結構晶體的裝置，其特征在于：激光分束裝置包括分光棱鏡和若干平面鏡，激光通過分光棱鏡分束，每束激光通過平面鏡反射到鐵電晶體頂面。
3.根據權利要求1所述的一種制備周期極化疇反轉結構晶體的裝置，其特征在于：激光分束裝置為等距分束光纖。
4.根據權利要求1所述的一種制備周期極化疇反轉結構晶體的裝置，其特征在于：電暈線為S型電暈線或螺旋型電暈線。
5.根據權利要求4所述的一種制備周期極化疇反轉結構晶體的裝置，其特征在于：S型電暈線的兩端從真空腔側壁引出。
6.根據權利要求4所述的一種制備周期極化疇反轉結構晶體的裝置，其特征在于：螺旋型電暈線向中心處逐步螺旋升高，位于中心的一端從真空腔頂部引出，另一端從從真空腔側壁引出。
7.根據權利要求1所述的一種制備周期極化疇反轉結構晶體的裝置，其特征在于：真空腔包括腔體以及與腔體連通的真空泵。
8.根據權利要求1所述的一種制備周期極化疇反轉結構晶體的裝置，其特征在于：樣品臺上開設有通道，通道的一端朝向鐵電晶體底面，通道的另一端連接真空泵。
9.根據權利要求1所述的一種制備周期極化疇反轉結構晶體的裝置，其特征在于：還包括控制鐵電晶體溫度的溫控裝置。
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