[實用新型]一種多介質漏率可調的漏率標定系統

有效

• 申請號: 201822011311.4
• 申請日: 2018-12-03
• 公開（公告）號: CN209783837U
• 公開（公告）日: 2019-12-13
• 發明（設計）人: 韓武林
• 申請（專利權）人: 北京海德利森科技有限公司
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 11210 北京紐樂康知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 白明珠

1.一種多介質漏率可調的漏率標定系統，其特征在于，包括氦氣瓶（1）、氪氣瓶（2）、CF4氣瓶（3）和氙氣瓶（4），所述的氦氣瓶（1）、氪氣瓶（2）、CF4氣瓶（3）和氙氣瓶（4）均連接有氣瓶溫度變送器（37），所述的氦氣瓶（1）、氪氣瓶（2）、CF4氣瓶（3）和氙氣瓶（4）分別通過氣瓶閥門一（5）、氣瓶閥門二（6）、氣瓶閥門三（7）和氣瓶閥門四（8）連接有壓力表一（9）和減壓閥（11），所述減壓閥（11）的出口通過過濾器二（13）連接有恒溫箱（33），所述恒溫箱（33）的第一個出口連接和真空泵（25），所述恒溫箱（33）和真空泵（25）之間的管路上設有真空放氣閥（22），所述真空放氣閥（22）連接有過濾器三（23），所述真空泵（25）的出口即為真空放氣口（39）；所述恒溫箱（33）的第二個出口連接過濾器一（31），所述過濾器一（31）通過電動循環泵（32）連接循環口一（40），所述循環口一（40）通過集氣箱（36）連接循環口二（41），所述循環口二（41）與恒溫箱（33）的第三個出口連接，所述恒溫箱（33）的第四個出口即為管路排氣口（42），所述的集氣箱（36）連接有標定件（38）。

2.根據權利要求1所述的一種多介質漏率可調的漏率標定系統，其特征在于，所述減壓閥（11）和過濾器二（13）之間的管路上設有減壓壓力表（10）。

3.根據權利要求2所述的一種多介質漏率可調的漏率標定系統，其特征在于，所述減壓閥（11）和過濾器二（13）之間的管路上設有減圧圧力變送器（12）。

4.根據權利要求1所述的一種多介質漏率可調的漏率標定系統，其特征在于，所述循環口一通過金屬軟管一（34）與所述集氣箱（36）連接。

5.根據權利要求4所述的一種多介質漏率可調的漏率標定系統，其特征在于，所述集氣箱（36）通過金屬軟管二（35）與所述循環口二連接。

6.根據權利要求5所述的一種多介質漏率可調的漏率標定系統，其特征在于，所述真空泵（25）和真空放氣閥（22）之間的管路上設有真空規（24）。

7.根據權利要求1所述的一種多介質漏率可調的漏率標定系統，其特征在于，所述的標定件（38）連接有測控系統。

8.根據權利要求1所述的一種多介質漏率可調的漏率標定系統，其特征在于，所述恒溫箱（33）包括與過濾器二（13）連接的氣源閥（14），所述的氣源閥（14），所述氣源閥（14）連接有抽空旁通閥（20）的入口、自動調壓閥（15）的入口和氣源放氣閥（17）的入口，所述氣源放氣閥（17）的出口連接低壓放氣閥（19）的一端和恒溫箱（33）的第四個出口，所述低壓放氣閥（19）的另一端、自動調壓閥（15）的出口和抽空旁通閥（20）的出口相互連接，所述抽空旁通閥（20）的出口連接低壓抽空閥（21）和取樣閥（18），所述低壓抽空閥（21）與所述恒溫箱（33）的第一個出口連接，所述取樣閥（18）連接有標準容積箱（28），所述標準容積箱（28）連接放樣閥（29），所述放樣閥（29）與所述恒溫箱（33）的第二個出口和第三個出口連接，所述自動調壓閥（15）通過壓力變送器（16）與取樣閥（18）連接。

9.根據權利要求8所述的一種多介質漏率可調的漏率標定系統，其特征在于，所述標準容積箱（28）連接有取樣壓力變送器（26）和溫度變送器（27）。

10.根據權利要求9所述的一種多介質漏率可調的漏率標定系統，其特征在于，所述恒溫箱（33）連接有恒溫箱溫度變送器（30）。