[實用新型]一種基于平面光波導技術的光功率分配器芯片

有效

• 申請號: 201822009071.4
• 申請日: 2018-12-01
• 公開（公告）號: CN209117907U
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 劉勇;張麗丹;陳一博
• 申請（專利權）人: 江蘇海灣半導體科技有限公司
• 主分類號: G02B6/125
• 分類號: G02B6/125
• 代理公司: 杭州融方專利代理事務所(普通合伙) 33266
• 代理人: 薛紀表

1.一種基于平面光波導技術的光功率分配器芯片，包括襯底層，在襯底層的上表面上設有下包層，在下包層的上表面上設有光波導，在下包層上的上表面上還設有包覆光波導的上包層；其特征在于，光波導包括若干個Y形光路；光波導的第一個Y形光路采用光功率輸出為非均勻分配的方式，按照d/3和e/3的光功率輸出分配比例進行非均勻分配；在第一個Y形光路的d/3光功率輸出端設置光波導的第二個Y形光路，第二個Y形光路采用光功率輸出為f/2和(2d-3f)/6均勻或非均勻分配的方式進行分配，從而實現1分3的光功率均勻或非均勻分配；其中d、e和f均為設定的分光比例參數，并且d/3+e/3＝1，f/2+(2d-3f)/6＝d/3；從而實現1分2或1分3的光功率均勻或非均勻分配。

2.根據權利要求1所述的一種基于平面光波導技術的光功率分配器芯片，其特征在于，在1分3的3個光功率輸出端，再增加光功率輸出為均勻或非均勻分配的Y形光路，從而實現1分6的光功率均勻或非均勻分配；以此類推，能實現1分12或1分24或1分48或1分96或1分192的光功率均勻或非均勻分配。

3.根據權利要求2所述的一種基于平面光波導技術的光功率分配器芯片，其特征在于，Y形光路包括入光段、分光段和左出光段和右出光段；分光段的入光端與入光段的出光端一體連接，分光段的左光端與左出光段的入光端一體連接，分光段的右光端與右出光段的入光端一體連接，并且左出光段的中心線、右出光段的中心線和入光段的中心線兩兩相互平行。

4.根據權利要求2所述的一種基于平面光波導技術的光功率分配器芯片，其特征在于，設第一個Y形光路的兩個分支光路分別為上分支光路和下分支光路，并且上分支光路和下分支光路均落在同一個豎直平面a內；經上分支光路引入的每個Y形光路的分支光路均落在同一個水平平面b內；經下分支光路引入的每個Y形光路的分支光路均落在同一個水平平面c內；并且水平平面b與水平平面c相互平行，豎直平面a與水平平面b相互垂直。

5.根據權利要求4所述的一種基于平面光波導技術的光功率分配器芯片，其特征在于，在同一個水平平面b內的相鄰兩個光功率輸出端端口之間的間距相等；在同一個水平平面c內的相鄰兩個光功率輸出端端口之間的間距也相等。

6.根據權利要求5所述的一種基于平面光波導技術的光功率分配器芯片，其特征在于，水平平面b內的光功率輸出端端口與水平平面c內的光功率輸出端端口為上下錯位布置。

7.根據權利要求5所述的一種基于平面光波導技術的光功率分配器芯片，其特征在于，水平平面b內的光功率輸出端端口與水平平面c內的光功率輸出端端口為上下正對布置。

8.根據權利要求1所述的一種基于平面光波導技術的光功率分配器芯片，其特征在于，光波導為6μm×6μm的方形光波導。